Устройство для наклона объекта в электронноммикроскопе

ий i ен i .о-т „,: 1чбсКЖВ

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

263768

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства M

Заявлено 04.Х.1968 (№ 1274237/26-25) с присоединением заявки _#_o

Приоритет

Опубликовано 10.11.1970. Бюллетень Х 8

Дата опубликования описания 15.VI.1970

Кл. 21g, 37/10

МПК Н 01) 37/26

УДК 621.385.833 (088.8) Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Мииистрав

СССР

Авторы изобретения

E С. Мархасин, В. Б. Демидов и Г, А. Нашельский

Донецкий физико-технический институт АН Украинской ССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАК11ОНА ОБЪЕКТА В ЭЛЕКТРОННОМ

МИКРОСКОПЕ

В известных устройствах для наклона ооъекта в электронных микроскопах привод механизма наклона располагается вне вакуума, имеется столик для перемещения объекта и конический патрон для объекта, установленный в столике. Известные механизмы передачи движения от внешнего привода к устройству для наклона, расположенному на столике объекта, оказываются весьма сложными и, вследствие этого, имеют оольшие люфты и низкую точность установки угла наклона.

Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность установки углов наклона вследствие того, что привод механизма наклона располагается на патроне для обьекта.

В корпусе патрона для объекта закреплены две биметаллические пластины, снабженные обмотками для нагрева и изгибающиеся при нагреве в противоположных направлениях, причем свободные концы пластин жестко соединены между собой коромыслом, которое с помощью тяги шарнирно соединено с наклоняемым держателем образца, установленным на цапфах в корпусе патрона.

На чертеже изображено предлагаемое устройство и его разрез.

Оно состоит из корпуса 1, на котором закреплены биметаллические пластины 2 и 8, снабженные обмотками для нагрева 4 и 5.

Свободные концы пластин соединены между собой коромыслом б. Объект закрепляется в наклонном держателе образца 7, шарнирно соединенном тягой 8 с коромыслом.

Устройство р а ботает следующим обр азом.

При пропускании тока через обмотку соответствующая биметаллическая пластина изгибается и тянет с помощью коромысла тягу, которая поворачивает держатель образца вокруг оси, перпендикулярной чертежу. Изме10 няя силу тока, можно изменять угол наклона образца.

Биметаллические пластины укреплены так, что при нагреве они изгибаются в разные стороны. Поэтому, пропуская ток через обмотки, 15 можно обеспечить наклон в нужном направлении.

Благодаря тому, что привод (биметаллические пластины) закреплен непосредственно на патроне для объекта и связь между приводом

20 и наклоняемым держателем образца осуществляется с помощью тяги, люфты в механизме передачи движения от пластин к держателю минимальны. Так как перемещение концов биметаллических пластин зависит от температу25 ры, то угол наклона может точно контролироваться путем точного измерения тока подогрева пластин.

Предмет изобретения

30 Устройство для наклона объекта в электронном микроскопе, содержащее столик для

263768

Составитель Т. М. Горчакова

Редактор I. И. Зубкова Техред Т, П, Курилко Корректор Б. Л. Афиногенова

Заказ 1396 5 Тираж 500 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, по. Сапунова, 2 перемещения объекта и конический патрон для объекта, установленный в столике, отличаюш ееся тем, что, с целью повышения точности установки углов наклона, в корпусе патрона для объекта закреплены две биметаллические пластины, снабженные обмотками для нагрева и изгибающиеся при нагреве в противоположных направлениях, причем свободные концы пластин жестко связаны между собой коромыслом, которое с помощью тяги шарнирно соединено с наклоняемым держате5 лем образца, установленным на цапфах в корпусе патрона.