Устройство для контроля толщины напыляемыхпленок

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

358613

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски»

Социалистических

Респувлик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.1.1965 (№ 939914/23-5) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ОЗ.XI.1972. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 27.XI I.1972

M. Кл. G 01Ь 11/06

Номитет по делам

»зобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 678-416:531.717 (088,8) Авторы изобретения

А. Е. Лихтмаи и А. П. Толдов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМЫХ

ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Известны устройства для контроля толщины напыляемых пленок, состоящие из камеры с напылителями внутри нее и фотометрической измерительной системы.

Известные устройства контролируют толщину только прозрачных пленок.

Предлагаемое устройство позволяет контролировать толщину пленок как прозрачных, так и непрозрачных. Оно отличается тем, что камера снабжена экраном с регулируемой щелью, против которой установлен вращающийся прозрачный диск с напыляемой через щель контрольной пленкой.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

Устройство состоит из фотометрической измерительной системы 1 и камеры 2 со смотровым окном 3. Внутри камеры напротив напылителей 4 расположены обрабатываемые детали 5, неподвижный экран б с регулируемой щелью 7, над которым закреплены вращающийся диск 8, призма 9 закрыта экраном 10.

Устройство работает следующим образом.

Напылители 4 наносят пленку на обрабатываемые детали 5 и одновременно через щель

7 экрана б вЂ” на вращающийся стеклянный диск 8. Контрольная пленка на диске 8 настолько тонка, что остается прозрачной до конца напыления.

Фотометрическая измерительная система 1 по изменению светового потока, проходящего через смотровое окно 8 камеры 2 и стеклянный диск 8 с контрольной пленкой и отражаемого призмой 10, контролирует толщину напыляемой пленки.

Незначительной толщины контрольной плен10 ки на стеклянном диске 8 добиваются регулированием размера щели 7, расстояния от напылителей 4 pî диска 8 и обрабатываемой детали 5, а также среднего радиуса контрольной напыляемой пленки.

Устройство для контроля толщины напыляемых пленок, состоящее из камеры, внутри ко20 торой размещены напылители, и фотометрической измерительной системы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения контроля толщины непрозрачных напыляемых пленок, камера снабжена экраном с регулируемой ще25 лью, против которой установлен вращающийся прозрачный диск с напыляемой через щель контрольной пленкой.

358613

Корректор А. Степанова

Редактор Л. Ушакова

Техред 3. Тараненко

Заказ 4075!16 Изд. № 1665 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для контроля толщины напыляемыхпленок

Датчик плотности пленки // 357463

Устройство для измерения толщины нанесенной на образец тонкой пленки // 347564

Способ контроля толщины кристаллических // 344265

Устройство фотометрического контроля параметров диэлектрических покрытий, напыляемых в вакууме // 340883

Устройство для спектроинтерференционногоконтроля толщины // 337644

Измеритель загрязненности поверхности изделий // 326446

Способ измерения скорости образования и толщины пленок // 325482

Бче.пиотекл // 323650

Способ контроля толщины тонких пленок по // 322608

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости