Сносов измерения поверхностных потенциалов,—-

256098

Предмет изобретения

Составитель М. Лепешкина

1 сдактор Т, 3. Орловская Техред Т. П. Курнлко Корректор А. П, Васильева

Заказ 579 16 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва 7К-35, Раушская иаб., д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2 ющих определенную энергию, обусловленную поверхностным потенциалом в данной гочкс образца.

С целью автоматического построения эквилотенциалей на изобрахкении поверхности ооразца создается видеосигнал, например, по принципу диссектора от имеющих определенную энерги1о электронов. С усилителя 5 сигнал подается на модулятор трубки б, развертка луча в котором осуществляется с помощью питающейся от генератора 7 пилообразного тока отклоняющей системы 8 синхронно со сканированием изображения в колонне микроскопа, осуществляемым отклоняющей системой 9.

Способ измерения поверхностных потенциалов и энергетических спектров электронов, эмиттированных с поверхности твердого тела с помощью эмиссионного микроскопа, отлича1ощийся тем, что, с це "üþ повышения точности определения измеряемых величин и повышения разрешающей спосооности при упрощении

10 процесса измерения, электроны, эмиттированные с поверхности образца, фильтруют пс энергиям и регистрируют значения их потоков. по ко Гор1.1м с1 дят оо. пзме1эяек1ы Ве.ч пчинах.