Датчик для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09Л1.1970 (№ 1402195126-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 28.И1.1972. Бюллетень ¹ 23
Дата опубликования описания 22Х1I I.1972
М. Кл. В Olj 17/00
G 0111 31, 02
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете ббииистрое
СССР
УДК 521/382:2 3 (088.8) Авторы изобретения
Ю. К. Пожела, В. Л. Ряука и Р. Б. Топутис
Институт физики полупроводников АН Латвийской CCP
Заявитель
ДАТЧИК ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ
КОНЦЕНТРАЦИИ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам, предназначенным для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках.
Известны датчики для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках, в которых исследуемый образец помещают во взаимоперпендикулярные катушки возбуждения и индикации.
Недостатки этих датчиков — сложность и трудоемкость измерительных операций, малая оперативность.
С целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществления быстрой смены исследуемых образцов без отключения датчика от измерительной аппаратуры индикационная катушка выполнена в виде держателя с коаксиальными кабелями, а катушка возбуждения — в виде съемной части датчика с контактной колодкой.
На фиг. 1 схематично изображен предлагаемый датчик; »а фиг. 2 — катушка возбуждения.
Исследуемый образец 1 помещают внутри катушки 2 для индикации размерного резонанса геликонных волн с обмотками 3, прикрепленной к держателю 4, в котором проведены коаксиальные кабели 5 и б для подключения индикационной катушки и контактов соединяющего разъема 7 к измерительной аппаратуре.
Съемная часть датчика содержит катушку
8 для возбуждения размерного рсзонанса
5 геликонных волн в образце с обмоткой 9 и контактнуlo колодк 1 10 с контактами 11 для подключения возбуждающей катушки.
При измерении концентрации носителей тока на катушку 2 с образцом надевают ка10 тушку возбуждения 8, подключаемую с помощью контактов 7 и 11 к кабелlо 6. Затем датчик помещается в магнитное поле так, чтобы плоскости обеих катушек 2 и 8 были параллельны направлению индукции магнит15 ного поля.
Предмет изобретения
Датчик для бесконтактного измерения концентрации носителей тока в полупроводниках, 20 содержащий образец, помещенный в скрещенные катушки индуктивностп, отличающийся тем, что, с целью стабилизации электрических параметров датчика и осуществления быстрой смены исследуемых образцов без отключения
25 датчика от измерительной аппаратуры, индикационная катушка выполнена в виде держакоакс11альными кабел11хIи, а 1<3T) шка возбуждения выполнена в виде съемной части датчика с контактной колодкой.
345948
Составитель О. Смирнов
Техред 3. Тараненко
Корректор T. Гревцова
Редактор Н. Коляда
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 2592/4 Изд. № 1138 Тираж 406 Подписное
Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5