Способ измерения линейного размера прецизионного эталона

О П И С А Н И Е 344264

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскил

Социалистическими

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 11,XI1,1970 (№ 1600285 25-28) М. Кл. G Olb 11/02 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 07Л"11.1972. Бюллетень ¹ 21

Дата опубликования описания 19ХП.1972

Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Автор изобретения

Г. Б. Кайнер

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО РАЗМЕРА

ПРЕЦИЗИОН НОГО ЭТАЛОНА

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике.

Известен способ измерения линейного размера прецизионного эталона, например плоскопараллельной концевой меры, в длинах световых волн с применением интерференционного прибора, заключающийся в том, что эталон притирают к образцовой стеклянной пластине.

Затем устанавливают эту пластину с эталоном вверху на столик прибора и определяют по интер ференционным полосам расстояние от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины.

При этом считают, что плоскость притертой поверхности эталона и свободная поверхность пластины или лежат в одной плоскости, или плоскость эталона выше поверхности пластины на толщину адгезионного слоя между притертыми поверхностями.

В связи с этим вносится поправка на толщину слоя и для оценки качества притирки.

Однако известно, что при различных притирках толщина адгезионного слоя изменяется в пределах 0,03 — 0,15 мкм. Измерение толщины адгезионного слоя практически исключено в процессе аттестации меры на интерферометре, поэтому внесение дифференцированной поправки на размер в зависимости от конкретной притирки меры также исключается.

Таким образом, при аттестации мер имеется погрешность измерения, обусловленная неопределенностью толщины слоя смазки и качеством притирки, так как не производится из5 мерение положения притертой поверхности меры относительно свободной поверхности стеклянной пластины, к которой притерта мера.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерения.

10 Для этого устанавливают пластину с эталоном внизу на столик прибора, определяют по интерференционным полосам расстояние от притертой поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины и опре1S деляют размер эталона как алгебраическую сумму расстояний от свободной и притертой измерительных поверхностей эталона до свободной измерительной поверхности образцовой стеклянной пластины.

20 Предлагаемый способ поясняется чертежом и осуществляется следующим образом.

Образцовую стеклянную пластину 1 с притертым к ней эталоном (мерой) 2 устанавлиливают на столик 8 интерференционного при25 бора, например интерференционного компаратора, образцом вверх и определяют по интерференционньп| полосам расстояние l от свободной измерительной поверхности эталона (меры) до свободной измерительной поверхно30 сти стеклянной пластины. После этого уста344264

Составитель Л. Лобзова

Редактор Л. Народная Техред Т. Ускова Корректор О. Волкова

Заказ 2198 18 Изд. № 941 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Москва, Ж-35, Раушская п., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 навливают пластину с образцом так, чтобы эталон был внизу.

Монохром атический свет проходит через стеклянную пластину на плоскость эталона.

При этом получают две системы интерференционных полос: одну — на притертой поверхности эталона, другую — на свободной измерительной поверхности стеклянной пластины. По взаимному положению интерференционных полос определяют расстояние 4 притертой поверхности эталона относительно свободной измерительной поверхности пластины. Это позволяет определить точно размер L эталона как алгебраическую сумму размеров; - — 1+ 2 °

Таким образом, размер эталона (концевой меры) определяется на интерференционном приборе — комп араторе как алгебраическая сумма расстояния от свободной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности стеклянной пластины и расстояния от притертой поверхности эталона до той же свободной измерительной пластины.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность аттестации концевых мер первого и второго разрядов, практически устранить расхождение размеров при аттестации мер на интерференционном компараторе и контактном интерферометре.

Предмет изобретения

Способ измерения линейного размера прецизионного эталона, например плоскопараллельной концевой меры, в длинах световых волн с применением интерференционного при1о бора, заключающийся в том, что притирают э1 алон к образцовой стеклянной пластине, устанавливают эту пластину с эталоном вверху на столик прибора и определяют по интерференционным полосам расстояние от свобод15 ной измерительной поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, устанавливают пластину с эталоном внизу на столик прибора, 2О определяют по интерференционным полосам расстояние от притертой поверхности эталона до свободной измерительной поверхности пластины и определяют размер эталона как алгебраическую сумму расстояний от свободной

25 и притертой измерительных поверхностей эталона до свободной измерительной поверхности образцовой стеклянной пластины.