Привод микроперемещений
О П И С А Н И Е 340796
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетсних
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 12.I.1970 (№ 1399526/25-8) с присоединением заявки №
Приор,итет
Опубликовано 05.VI.1972. Бюллетень ¹ 18
Дата опубликования описания 23.VI.1972
М. Кл. F 15Ь 15/02
Комитет по делам иаебретеиий и открытий при Спеете Мииистрсе
СССР
УДК 62-82(088,8) Авторы изобретения М. Ф. Агашин, В. И. Аксенов, В. Н. Кузнецов и С. В. Львов
Заявитель
» s »о »% . «т » Я ... т :" » т
a ° a: 1 р)," 6 1С:
-. хт
ПРИВОД МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Изобретение относится к .области станкостроения и может применяться, например, для точного позиционирования узлов станков.
Известен привод микроперемещений, выполненный в виде гидростатической опоры, на входе в противоположные карманы которой установлен ы регулируем ые дроссели.
В предлагаемом приводе, с целью увеличения рабочего диапазона перемещения привода при незначительном расходе жидкости, гидростатическая опора выполнена в виде упорного подшипника, на валу которого по обе стороны от подвижного диска установлены два разделительных диска.
Кроме того, с целью;исключения перекосов разделительных дисков,,на,каждом из,н Ix co стороны, обращенной к подвижному диску, вьеполнеяы три связанных между собой кармана.
На фиг. 1 показан предлагаемый привод; па фиг. 2 — схема управляющего устройства привода; на фиг. 3 и 4 представлен вид на разделительный, диск, соответственно, со стороны неподвижного и подвижного дисков.
Привод состоит из,гидростатического упорного подшипника, имеющего вращающийся и перемещающийся в осевом направлении диск
1, два неподвижных диска 2 и 8, соединенных защитным цилиндром 4. В не подвижных дисках запрессованы втулки 5, выполняющие роль радиальных подшипников и уплотнений.
Между вращающимся диском 1 и неподвижными дисками 2 и 8 на валу б установлены свободно разделительные диски 7 и 8.
5 В дисках 2 и 8 в ыполнены каналы а и б, через которые подводится жидкость от управляющего устройства к карманам гидростатической опоры.
У правляющее устройство содержит элект10 ромагнит 9 с заслонкой 10, расположенной между двумя соплами П. Последние образуют с дросселями 12 постоянного со противления гидравлический мост, являющийся первым каскадом у правления. Во втором каска15 де управления между двумя корпусами 18 зажата мембрана 14, являющаяся заслонкой для двух сопл 15.
На каждом из,подвижных дисков 7 и 8 со стороны неподвижных дисков 2 и 8 выполнен
20 кольцевой карман lб и со стороны подвижного .диска 1 — три связанных между собой кармана 17.
Привод работает следующим образом.
При отсутствии сигнала на электромагните
25 9 привод микроперемещений работает кзк о»бычный упорный подшипник. Масло от насоса проходит через регулируемые дроссели, образованные соплами 15 и мембраной 14, и далее через каналы а и б попадает в карма30 ны lб.
340796
3
При,перекосе диска 7 или 8 зазор между промежуточным диском и неподвижным, предположим, для одной канавки увеличится, а между диском 1 и тем же промежуточным диском уменьшится, но увеличение зазора между не подвижным и промежуточным дисками в ызывает увеличение расхода жидкости в соответствующий краман между вращающимся и промежуточным дисками, что ведет к восстановлению правильного положения промежуточного диска.
При,подаче на электромагнит 9 управляющего сигнала заслонка 10 отклоняется в соответствующую сторону и нарушает равновесие,гидравлического моста, образованного сопротивлениями сопл 11 и дросселей 12. В камерах управления, образованных корпусами 18, мембраной 14 н наружной частью сильфонов 18, появляется перепад давлений, под действием которого мембрана 14 изгибается и из меняет гидравлические со противления между мембраной 14 и соплами 15. Например, сопротивление правого зазора увеличивается, а левопо, соответственно, уменьшается. Тогда нарушается равновесие гидравлического моста, образованного сопротивлениями зазоров между мембраной 14;и соплами
15 и сопротивлениями зазоров гидростатического упорного подшипника по одну сторону вращающегося диска 1 и по другую.
Под действием неуравновешенной силы подвижный диск 1 смещается в права, пока равновесие моста вновь не восстановится. Поскольку уменьшение или увеличение зазора
5 между неподвижным и промежуточным дисками вызывает соответствующие изменения количества жидкости, подводимой в карман между подвижным и промежуточным дисками, то зазор между ними изменяется в том
10 же направлении, что и зазор между неподвижным и промежуточным дисками.
Предмет изобретения
1. Привод микроперемещений, .выполненный
15 в виде гидростатической опоры, на входе в противоположные карманы которой установлены регулируемые дроссели, связанные с у правляющим устройством, отличающийся тем, что, с целью увеличения рабочего диапа20 зона перемещения привода при незначительном увеличении расхода жидкости, гидростатическая опора,в ыполнена в виде упорного подшипника, на валу которого по обе стороны от подвижного диска установлены два
25 р азделительных диска.
2. Привод по п, 1, отличающийся тем, что, с целью исключения перекосов разделительных дисков, на каждом из них со сторон ы, обращенной к подвижному диску, выполнен ы з0 три связанных между собой кармана.
340796
Фиг. 5
Риг.9
Составитель М. Сакова
Техред 3. Тараненко
Редактор T. Баранова
Корерктор Е. Жаворонкова
Заказ 1824/14 Изд. № 770 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2