Привод для микроперемещений
ОANCАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
280150
Союз Советских
Еодиал n .ec i
Реслублик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт, свидетельства №
Кл. 47h, 22
Заявлено 24.1Ч.1969 (№ 1325420/25-8) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 26.VI I 1.1970. Бюллетень № 27
Дата опубликования описания 12.11.1971
МПК F 15Ь 15/02
УДК 62-82(088.8) Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Мииистров
СССР
Авторы изобретения
М. Ф. Агашин, В. Э. Пуш и М. А. симанович
Московский станкоинструментальный институт
Заявитель
ПРИВОД ДЛЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ.2
Известны приводы для микроперемещений, выполненные в виде гидростатической опоры, противоположные несущие карманы которой связаны с регулируемыми гидравлическими сопротивлениями, образованными канавками переменного сечения на золотнике.
Для увеличения жесткости привода и повышения его быстродействия в предлагаемом приводе использован двухкаскадный мембранный усилитель, в котором установлены две мембраны, образующие с одной стороны в сочетании с соплами второго каскада два управляемых гидравлических сопротивления, связанных на входе с источником давления и на выходе — соответственно с двумя противоположными несущими карманами, а с другой стороны — две полости управления первого каскада усилителя.
Кроме того, полости управления первого каскада усилителя связаны на входе с источником давления через постоянные гидравлические сопротивления, а на выходе — с устройством типа «сопло-заслонка», заслонка которого связана с якорем электромеханического преобразователя.
На чертеже представлен описываемый привод.
Он содержит гидравлическую опору, имеющую движущийся узел 1 и два кармана 2 и 3, масло в карманы подается через зазоры между соплами 4 и мембранами 5. Через разделитель 6 и два постоянных гидравлических сопротивления 7 масло подводится для управления первым каскадом регулятора. Из обеих полостей разделителя масло вытекает через сопла 8 устройства типа «сопло-заслонка», гидравлическое сопротивление которых регулируется заслонкой 9, приводимой в движение электромеханическим преобразовате1о лем !О, Привод для микроперемещений работает следующим образом. Для смещения узла на величину, не превышающую зазора в гид)5 ростатичсской опоре, на электромеханический преобразователь подается электрический сигнал соответствующей величины и полярности.
Заслонка 9 смещается под действием электромеханнческого преобразователя, увеличивая
2О сопротивление одного сопла 8 и уменьшения сопротивления другого. Давления P„ P, 1
У2 управления изменяются пропорционально изменению сопротивлений соответствующих сопел 8. Условие равновесия мембран наруша25 ется, и они деформируются так, чтобы восстановить равновесие за счет сил упругости. Величина зазоров между соплами 4 и мембранами и их гидравлическое сопротивление изменяются. Это нарушает равновесие гидравличе30 ского моста, содержащего два кармана гидро280150
Ф» /» 7 б
0m пасоса
Составитель Н. Сакова
Редак гор Н. С. Старостина Техред А. А, Камышникова Корректор T. А. Уманец
Изд. № 135 Заказ 243/4 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 статической опоры и два дросселя на входе в них. Подвижный узел 1 смещается до тех пор, пока равновесие моста не восстановится за счет изменения гидравлического сопротивления карманов.
Независимо от положения заслонки 9 привод обеспечивает обратную связь по нагрузке, что увеличивает его жесткость. При изменении нагрузки на величину P давления Pi и Рг изменяются так, чтобы под действием появившегося перепада давлений воспринималась эта нагрузка. Равновесие гидравлического моста второго каскада нарушается и восстановление его происходит автоматически за счет изменения гидравлического сопротивления дросселей при деформации мембран под действием давлений Р1 и Р2. Узел 1 при этом не смещается или смещается на величину, значительно меньшую, чем в случае привода без обратной связи.
Постоянные гидравлические сопротивления встроены в разделитель для уменьшения расхода масла на управление, Заслонка 9 и мембраны при перемещении не имеют непосредственного контакта с соплами 8 и 4, а только изменяют величину зазоров. Зто исключает зону нечувствительности и износ рабочих поверхностей деталей регулятора, что повышает точность привода и его быстродействие.
Предмет изобретения
1. Привод для микроперемещений, выполненный в виде замкнутой гидростатической опоры, на входе в противоположные несущие карманы которой установлены управляемые гидравлические сопротивления, отличающийся тем, что, с целью увеличения жесткости привода и повышения его быстродействия, в приводе использован двухкаскадный мембранный усилитель, в котором установлены две мембраны, образующие с одной стороны в сочетании с соплами второго каскада два управляемых гидравлических сопротивления, связанных на входе с источником давления и на выходе — соответственно с двумя противоположными несущими карманами, а с другой стороны — две полости управления первого каскада усилителя.
2. Привод по п. 1, отличающийся тем, что полости управления первого каскада усилителя связаны на входе с источником давления через постоянные гидравлические сопротивления, а на выходе — с устройством типа «сопло-заслонка», заслонка которого связана с якорем электромеханического преобразователя.
