Устройство для измерения остаточных напряжении при непрерывном травлении

330360

Союз Советских 3

Социалистических

Реслтблик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 27.1Ч.1970 (№ 1431079/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

М. Кл. G 01! 1/22

G 0lb 7/18

Ковтитет по делаю изобретений и открытий ар» Совете Министров

СССР

УДК 531.781(088 8) Опубликовано 24.11.1972. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 18 1Ъ .1972

Автор изобретения

В. В. Петросов

Тольяттинский политехнический институт

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ

НАПРЯЖЕНИЙ ПРИ НЕПРЕРЫВНОМ ТРАВЛЕНИИ

Изобретение относится к области измерительной техники.

Известно усгройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца, помещаемого в ванну с реактивом и закрепляемого в располагаемом над ванной приспособлении для его крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по показаниям которого судят о толщине стравливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру.

В известных устройствах толщина стравленного слоя определяется с помощью прибора, выполненного в виде рычажной системы с двумя плавающими щупами, контактирующими с образцом, и позволяющего производить измерения через определенные промежутки времени при перемещении образца из одного крайнего положения в другое. Приспособление для крепления образца, расположенное над ванной, подвешивается к кронштейну, устанавливаемому около ванны.

Недостатком известного устройства является невысокая точность измерения вследствие того, что они не обеспечивают непрерывный замер изменения толщины стравливаемого слоя.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что в качестве прибора, по показаниям которого судят о толщине стравливаемого слоя, использованы аналитические весы, к одному из плеч коромысла которого, располагаемому над ванной, подвешивается приспособление для крепления образца, а устройство снабжено фотокиноприставкой, фиксирующей показания шкал приборов.

Это позволяет повысить точность измерения, так как обеспечивает непрерывное измерение изменения толщины стравливаемого слоя и одновременную регистрацию всех интересующих параметров.

На чертеже изображено описываемое устройство.

На поворотном столе 1 находятся .ва нна 2 с водой и ванна 8 с реактивом. Над .ванной с реактивом устанавливаются аналитические весы 4, к иоромыслу которых через нить 5 подвеш ивается образец б,:снабженный датчиком

7 деформации, сигнал с которого иоступает на регистр1ирующий прибор 8, и счетчик 9 времени. Одновременная регистрация шкалы ана20 литических весов, измерителя,:деформации и счетчика времени осуществляется фотокиноприставкой 10.

У стройство |работает следующим образом.

Перед началом процесса травления .подве25 шенный к коромыслу аналитичесиих |весов образец, снабженный датчиком деформации, опускается в ванну с водой и уравноветпивается. Затем вводится поправка с учетом разности удельных весов воды и реактива, после чез0 го образец опускают в ванну с:реактивом и

330360

Предмет изобретения

Составитель P. Старцева

Техред Е. Борисова Корректор И. Шматова

Редактор Т. Киселева

Заказ 142 Изд. № 2 Тира>к 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и отирытий при Совете Министров СССР

Москва, K-ЗЬ, Раушская наб., д. 4/5

Типография № 24 Глазполиграфпрома, Москва, Г-19, ул. Маркса — Энгельса, 14 включают ток. В лроцеосе травления образца производится одновременная .регистрация Msменеиия деформации образца, толщи вы стравлевного (слоя и времени травления, IIо величине которых судят,об остаточных нап ряжен иях.

Устройство для измереиия остаточных напряжеиий 11ipm непрерывном травлении образца, помеща емого IB IBQHIHQ с реактивом,и заирепляемого iB располагаемом над за и ной приспособлении для его крепления, содержащее датчик деформации и, прибор, по показан ням которого судят î TQJIIIIHIHQ стра вливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру, отли5 чающееся тем, что, с целью повышения точности измерен ия, в 1качест|ве прибора,,по показаниям кото рого судят о толщине стра вл и ваемого слоя,,использованы аналитические весы, к одному из плеч коромысла ко тарого, распо10 лагаемому над ванной, подвешивается приспособление для крепления образца, а устройство снабжено фотокинопр1иста вкой, фиксирующей показания шкал приборов.