Способ разделения спектров фото- и оже-электронов

ОПИСАН И Е

ИЗОЬЕЕт ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

322704

Союа Советских

Социалистических

Респуолик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.XI.1968 (№ 1283969/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.XI.1971. Б1оллетепь № 36

Дата опубликования описания 1.II.1972

М. Кл. G 01ï 23/00

Комитет по делам изооретений н открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.384.6 (088.8) Автор изобретения

В. А. Трапезников

Институт физики металлов АН СССР

Заявитель

СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ СПЕКТРОВ ФОТО- и ОЖЕ-ЭЛЕКТРОНОВ

Изобретение относится к методике исследования структуры материалов по бета-спектрам.

Обычно при исследованиях электронных спектров на бетаспектрометрах фото- и ожеэлектроны образуют один спектр, где фото- и оже-линии от разных уровней атомов могут накладываться одна на другую, что вызывает затруднения при интерпретации спектров.

Предлагаемый способ позволяет, кроме получения смешанного фото- и оже-спектра, регистрацию спектра одних оже-электронов. Вычитание из смешанного спектра оже-спектра позволяет получить чистый спектр фотоэлектронов.

Способ основан на независимости направления вылета из образца оже-электронов от направления выбрасывания фотоэлектронов, направление выбрасывания которых определяется направлением плоскости поляризации возбуждающего излучения.

Для осуществления настоящего способа бета-спектрометр содержит кристалл-поляризатор, вращающийся вместе с рентгеновской трубкой вокруг оси, перпендикулярной направлению ввода электронов в камеру спектрометра. Узел возбуждения электронов, например, в безжелезном бета-спектрометре с движением анализируемых электронов по кругу внутри торовой камеры (см. чертеж) располагается над этой камерой. Узел состоит из рентгеновской трубки 1 и кристалла-поляризатора (монохроматора) 2. Внутри торовой камеры т находятся образец 4 и счетчик 5 электронов.

Смешанный спектр фото- и оже-электронов получается в том случае, когда возбуждающее рентгеновское излучение из трубки в положении 1 направляется на кристалл 2 в на10 правлении оси и от него уже поляризованным (так как угол отражения подбирается близким к 45 ) на образец по оси z, а вылетающие в направлении оси у фотоэлектроны направляются по оси торовой камеры вместе с

15 частью оже-электронов, вылетающих в разные стороны, Спектр одних оже-электронов получается в том случае, когда возбуждающее излучение будет направлено из рентгеновской трубки на кристалл по оси у (или близким к

20 этому направлению) что на чертеже соответствует новому положению трубки и кристалла

2 (пунктир). Вследствие этого фотоэлектроны будут направлены по оси х и не попадут в камеру бета-спектрометра, и счетчик будет ре25 гистрировать только оже-электроны.

Предмет изобретения

Способ разделения спектров фото- и ожеэлектронов при исследовании электронной

30 структуры многокомпонентных материалов

322704

Составитель Л. Сибельдина

Редактор 10. Полякова

Техред Л. Куклина Корректор П. Коваленко

Заказ 49/14 Изд. ¹ 1816 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 бетаспектроскопическим методом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений и надежности расшифровки спектров, поляризованное рентгеновское излучение от кристалла направляют на образец под таким углом плоскости поляризации к направлению входа электронов в канал бета-спектрометра, чтобы исключить попадание фотоэлектронов в него, при этом регистрируют спектр только оже-спектра из смешанного спектра, получаемого при направлении фотоэлектронов в камеру бета-спектрометра.