Способ контроля однородности цилиндрических тонких магнитных пленок
ОПИС Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
3I2I93
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
За висимое от авт. свидетельства №
МПК G Оlп 27/72
Заявлено 27.Х.1969 (№ 1374950/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 19.VIII.1971. Бюллетень № 25
Дата опубликования описания 10.XI.1971
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 620.179.14(088.8) Авторы изобретения
Р. Е. Ершов и В. Л. Лифшиц
Институт физики Сибирского отделения АН СССР
Заявитель
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОДНОРОДНОСТИ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ
ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК (K ) J /à
20 где
1П
Н" „, 25
Предмет изобретения
Известны способы контроля однородности цилиндрических тонких магнитных пленок путем намагничивания их переменным полем и выделения третьей гармоники из вторичной э.д.с.
Предложенный способ отличается от известного тем, что намагничивание производят поочередно двумя полями одной и той же частоты, но р азной амплитуды, измеряют амплитуды третьих гармоник вторичной э.д.с., составляют из них отношение, позволяющее определить величину поля а низотропии, по которому судят об однородности пленок, причем амплитуда намагничивающего поля должна быть заведомо больше поля анизотропии.
Это позволяет пов ысить точность контроля, так,как подавляется влияние колебаний потока насыщения через контролируемый участок пленки.
Сущность способа заключается в следующем.
Тонкую магнитную пленку намагничивают переменным полем определенной амплитуды и частоты, определяют амплитуду третьей гармоники Е а вторичной э.д.с., затем определяют амплитуду третьей гармоники Е а„, при другом значении амплитуды намагничивающего поля той же частоты, причем амплитуду намагничивающего поля выбирают больше поля анизотропии, после чего составляют отношение амплитуд третьих гармоник:
10 где Н и Н"„,— амллитуды намагннчивающего поля;
Нл — поле анизотропип пленки.
Такое отношение позволяет исключить
15 влияние потока насыщения на вторичную э.д.с., т. е.
Способ контроля однородности цилиндрических тонких магнитных пленок, заключаю30 щий ся в намагничивании их переменным тоИ2193
Составитель В. Мазина
Редактор Г. К. Гончарова Техред Е, Борисова Корректоры: В. Иетрова и Е. Ласточкина
Заказ 315)/19 Изд. № 1157 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПЙ Комитета ао делам изобретений и открытий ари Совете Министров С(.- CP
Мос нва, Ж=З5:, Раушскаи иаб.; д 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 ком и выделении третьей гармоники из вторичной эд.е., отличаюи ийся тем, что, с целью повышения точности консоли, |намагничивание производят поочередно д вумя поля ми одной и той же частоты, но разной амплитуды, измеряют амплитуды треТьих гармоник вторичной э.д.с., составляют из них отношение, позволяющее ойредеМить величину поля анизотропии, ао которому судят об однородности пленок, причем амплитуда намагничи5 вающего поля должна быт ь заведомо больше поля анизотропии.
