Устройство для бестигельной зонной плавки

.:. ю

ОЛ ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОИ:КОМУ СВИДВТВЙЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1В.06.89 (21) 13429ВВ/22.01 с присоединением заявки JA (23) Приоритет (43) Опубликовано05. 11.77. Бтоллетень №4

{45) Дата опубликования описания 1В.11.77 (1P 307605

Сеоз Сфеетскиз

Соцнаетстнцеснта

Рвсн убети (51) М. Кл.

В 01.т 17/10 те«удар«твв«иы««аетет

6веатв М««««тров CCO

«з д«ззм «««брет«««Ю а зт«рыт«« (5З) УДК ВВ9.054-172..002. В (OBS. 8) В, И. Кирьанов,,о Г, Ратников, В, Ф. Бенов и О. В. Семенов (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО 11ЛЯ ВЕСТИГЕЛЬНОЙ 3ОННОА ПЛАВКИ

Изобретение относится к области получения электропроводящих материалов, в частности полупроводников высокой степени чистоты, преимущественно в монокристаллическом виде.

Известны устройства для бестигельной зонной плавки стержней из электропроводящих материалов с индукционным нагревом зоны, включающие герметичную камеру с расположенным в ее полости индуктором и коаксиальный токоввод, введенный в полость камеры и соединенный с шинами источника электроэнергии.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что токоввод снабжен приводом поворота вокруг его продольной оси, шины источника электроэнергии прикреплены к неподвижно установленным коаксиально токовводу втулкам с коническими осевыми отверстиями, а в зазорах между втулками и токовводом помещены клиновидные вкладыши из электропроводящего материала.

Такое выполнение устройства дает возможность смешать индуктор горизонтально относительно подвергаемого бестигельной плавке стержня, например, для проплавления стержней увеличенных диаметров.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез токоввода в месте присоединения к нему втулок.

Устройство включает нндуктор 1, укрепленный на коаксиальном токовводе 2, введенном вертикально снизу в полость герметичной камеры через ее нижнюю стенку 3. Токоввод состоит из двух проводников: внутреннего (труба 4) и внешнего (трубы 5 и б). Проводники изолированы друг от друга фторопластовой втулкой 7, служащей одновременно вакуумным уплотнением.

10 Электрический ток подводится к токовводу через шины 8 и 9, присоединенные к источнику электроэнергии, неподвижно установленные втулки 10 и 11 и клиновидные вкладыши 12 и

13 из электропроводящего материала. Втулка

10 охватывает внешний проводник, а втулка

15 11 — втулку 14 из электропроводящего материала, жестко укрепленную на трубе 4. В полость внутреннего проводника н между двумя трубами внешнего пропускают охлаждающую жидкость. Токоввод снабжен приводом поворота вокруг его продольной оси, включающем электродвигатель 15, червячную передачу 16, ходовой винт 17 и систему рычагов 18. Клиновые вкладыши 12 прижаты к поверхности токоввода при помощи колец 19 и резиновых прокладок

20.

При повороте токоввода скользящая поверхность образуется между вкладышем !2 и трубой 5 и вкладышем l3 и втулкой 14.

Формула изобретения

Устройство для бестигельной зонной плавки стержней из электропроводящих материалов с индукционным нагревом зоны, включающее герметичную камеру с расположенным в ее полости индуктором, укрепленным на введенном в полость камеры коаксиальном токовводе, соединенном с шинами источника электроэнер-" гии, отличающееся тем, что, с целью горизонтального смещения индуктора, токоввод снабжен приводом поворота вокруг его продольной оси, шины источника электроэнергии прикреплены к неподвижно установленным коаксиально токовводу втулкам с коническими осевыми отверстиями, а в зазорах между втулками н токовводом помещены клиновидные вкладыши из электропроводящего материала.

Редактор T. Ларина

Составитель Т. Фирсова

Техред О. Луговая Корректор Д. Мельниченко

Заказ 42! 7/I Тираж 947 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

1 I 3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4