Устройство для выращивания монокристаллов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Соввтскиз
Социалистических
Республик (11) 276921
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву—
{И) Ззявлено 19оа68 (21) 126мз7/22-01 с присоединеииеаа заявки Ю—
{И) Приоритет —. (51) з1. Кл.
В 01 У 17/08
Гааудауатааааий аазатат
Еааата ааааатраа ВВЕУ
N Йаааз 4441аатаааа а атармтаа (S3) УДК
669.054-172 (088.8) (43) Опубликовано 25.11.77.Бюллетень ph 43 (45) дата опубликования описания 2511.77 (72) Авторы изобретения
Х.С. Багдасаров, Н.II. .Ильин н Ю.A Старостин
Ордена ТруДового Красного Знамени институт кристаллографик
AH СССР и Специальное конструкторское бюро ордена Трудового
Красного Знамени института кристаллограФки АН СССР
Pl) Заявители (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ BHPAQlHBAHMR МОНОКРИСТАЛЛОВ
Известны устройства для выращивания монокристаллов кристаллизацией расплава в лодочКах,. включающие кристаллиэацконную камеру,с установленным в ее волости нагревателем, отделенный от ка- 8 меры вакуумным затвором шлюзовой отсек, расположенный по оси нагревателя, и систему откачки.
Описываемое устройство отличается тем, что шлюзовой отсек укреплен на поворотной каретке, а вакуумный затвор встроен в корпус камеры.
Таков выполнение устройстэа упрощает его конструкцию.
На чертеже изображено описываемое ,устройство, общий вид. устройство имеет кристаллизациониую камеру 1, в полости которой установлен нагреватель 2, шлюзовой отсек 3, расположенный на поворотной каретке 4, к систему откачки 5, соединенную с камерой и отсеком.отдельными линиями б и 7. В корпус камеры встроен вакуумный затвор 8. И
Лодочку 9 с исходньва материалом помещают в отсек 10 камеры, после чего в нвй создают. эаданныв температурные условия и давленые. Выращивание осуществляют перемещением лодочки через кристаллиэационную камеру в шлюзовой отсек.
Шлиэовой отсек отделяют от камеры прн помощи вакуумного затвора и после охлаждения лодочки отсоединяют от камеры. Лодочку с выращенным монокрнсталлом извлекают иэ отсека, в отсек устанавливают другую лодочку и после соэданкя в отсеке давления, соответствующего давлению в крксталлнзационной камере, процесс выращивания повторяют.
Устройство позволяет выращивать серии монокристаллов в воспроизводимых условиях.
Формула изобретения
Устройство для выращивания моиокристаллов кристаллизацией расплава в лодочках, включающее кристаллизационную камеру с установленным в ве полости нагревателем, отделенный от камеры вакуумным затвором шлюзовой отсек, расположенньэт по оси нагревателя, н систему откачки, соединенную с камерой и отсеком отдельными линиями, о т л и ч а ю щ в е с я тем, что, с целью упрощения конструк« ции, шлюзовой отсек укреплен на поворотной каретке, а вакуумный эат- вор встроен в корпус камеры.
27б921
Составитель Т, Фирсова
Редактор Т. Фадеева Техред З.Фанта Корректор И. Демчик
Закаэ 4420/1 Тираж 947 Подписное
IgIHHlIH Государственного коиитета Совета Министров СССР по делаи иэобретений и открытий
113035, Москва, X-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
