Способ бестигельной зонной плавки

i у".»

Р (11 307604

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЮТВЛЬСТВУ

Соеа Соаетееа

Социалнстнцасеани

1весау блин (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51) М. Кл.

В 01 3 17/10 (22) Заявлеио25.02.70 (21) 1409063/2ЗО1 с присоединением заявки №

Гащдаретееннмй иемитет

Совета Минивтраа СССР иа делам иаввретений и нтирытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.11.77. Бюллетень №41 (5З) УДК 669.054 172 (Обе.в) (45) Дата опубликования описания15.11.77

К. H. Неймарк, М. И. Осовский, С. В. Терентьев, Я. М. Мыненко, B. К. Жигарев, И. И. Хабнер и В. Ф. Кпешко (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Формула изобретения

Предлагаемый способ может быть применен в металлургии полупроводников при очистке и выращивании монокристаллов бестигельной зонной плавкой.

В известном способе бестигельной зонной плавки образца из электропроводящего материала нагрев зоны производится неразъемным индуктором, внутренний диаметр которого меньше диаметра образца; индуктор возвращают в исходное положение после прохода зоны параллельно продольной оси образца.

Цель изобретения — осуществление повторных проходов зоны индуктором с произвольным количеством витков. Для этого в начале и в конце прохода расплавленную зону разрывают.

Способ осуществляют следующим образом.

Образец из электропроводного материала и затравку укрепляют в камере установки для бестигельной зонной плавки. По окончании прохода зоны вдоль образца снизу вверх ее разрывают путем разведения двух частей слитка на расстояние, большее высоты индуктора. Индуктор смещают в горизонтальной плоскости в сторону от слитка таким образом, чтобы между образцом и внешней стороной индуктора образовался зазор.

После смешения индуктора две части образца соединяют, зону замораживают, а индуктор возвращают в исходное положение относительно образца. В месте стыка образца с затравкой внешней стороной индуктора создают расплавленную зону, которую затем разрывают, устанавливают индуктор соосно образцу, снова соединяют образец с затравкой, и производят очередной проход зоны.

Способ бестигельной зонной плавки образцов из электропроводящего материала с нагревом зоны при помощи неразъемного индуктора с внутренним диаметром, меньшим диаметра образца, отличающийся тем, что, с целью осуществления повторных проходов эоны индуктором с произвольным количеством витков, в начале и в конце прохода расплавленную зону разрывают.