Устройство для получения кривой статистического распределения случайных процессов

О П И С А Н И Е 283698

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕДЫ:ТВУ

3нав Свветвкил

Соииеливтичоокиз

Равпублив

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.Х.1968 (¹ 1272788/18-24) Кл, 42m4, 7/52 с присоединением заявки ¹

Приоритет

МПК G 06g 7/52

УДК 681.177(088.8) Комитет оо делов изобретений и открытий ори Совете Мииивтров

ССОР

Опубликовано 06.Х,1970. Бюллетень Ч 31

Дата опубликования описания 22.ХП.1970

Авторы изобретения

В. А, )Кестовский и Н. Ф. Глебко

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КРИВОЙ СТАТИСТИЧЕСКОГО

РАСПРЕДЕЛЕНИЯ СЛУЧАЙНЫХ ПРОЦЕССОВ

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и предназначено для набора статистических данных об электрических параметрах полупроводниковых изделий.

Фото-осциллографический способ построения кривой статистического распределения известен. Однако этот способ требует дополнительной химической обработки фотоматериала и последующего анализа его на микрофотометре.

Целью изобретения являются упрощение аппаратуры и ускорение обработки данных, а также получение возможности наблюдения за кривой распределения (гистограммой) в процессе работы.

С этой целью предложенное устройство выполнено в виде равномерно вращающегося прозрачного цилиндра или диска с нанесенным на них слоем непрозрачного легкоповреждаемого покрытия, а запись производится посредством электромагнитного отметчика с управлением от нуль-органа, сравнивающего исследуемое и опорное пилообразное напряжения. Такое выполнение запоминающего устройства обеспечивает при минимуме деталей запоминание большого объема информации, простоту записи и считывания ее. Считывание информации с помощью фотодиода и использование в качестве двухкоординатного региСтра осциллографа с синхронизац .ей развертки от двигателя позволяет наблюдать за «риной распределения в процессе работы, Предлагаемое устройство изображено на чертеже.

На валу 1 электродвигателя с внутренним редуктором 2 закреплены прозрачный (например из оргстекла) барабан 8, механическое сканидирующее устройство, содержащее чер10 вяк 4 и штифт 5. жестко связанное с червячной шестерней 6 водило 7, свободным своим концом скользящее в прорези 8 качающегося кронштейна 9. На кронштейне 9 закреплен электромагнит 10 с легким якорьком-отметчиу ком 11. Напротив лампочки 12 подсветки помещены линза 18 и фотодиод 14 считывающего устройства. На прозрачный барабан 8 нанесена непрозрачная дорожка 15, например из сажи. Контакт 16 связан электрически с

20 клеммой синхронизации осциллографа 17 (желательно низкочастотного с послесвечением экрана), а контакт 18 — с зарядной емкостью

19, сопротивлением 20 и одним из входов нуль-органа 21, К выходу нуль-органа подклю25 чен электромагнит 10, работающий на отпускание.

Работает устройство следующим образом.

При вращении штифта 5 периодически закорачивается контакт 18 на корпус («землю»); ,)о с.. тадовательно, емкость 19 плавно, по экспоЗаказ 3589/11

Тираж 480

ЦНИИПИ

Подписное

Типография, пр. Сапуноеа, 2 неициальному закону разаряжается через сопротивление 20 и практически мгновенно разряжается через контакт 18 и штифт 5. При условии работы на начальном участке экспоненты с достаточной степенью точности можно считать, что напряжение на емкости 19 в течение одного оборота барабана меняется по линейно-нарастающему закону. Это напряжение сравнивается с исследуемым с помощью нуль-органа 21, и в момент их равенства электромагнит 10 обесточивается и выступающим концом якорек 11 делает отметку в виде короткой царапины на дорожке 15. Эта отметка находится тем дальше от начала отсчета, чем больше измеряемое напряжение по амлитуде. За начало отсчета принимается место, над которым находится якорек 11 в момент размыкания контатка 18, т. е. в момент начала роста пилообразного напряжения, Контакты 18 v. 1б сдвинуты друг относительно друга точно на такой же угол, что и якорек 11, и линза 18. Поэтому импульс синхронизации подается на осциллограф точно в момент нахождения начала отсчета перед линзой 18. Длительность развертки осциллографа выбирается примерно равной или большей периода одного оборота барабана. После нескольких десятков или сотен измерений на дорожке 15 появляется множество коротких царапин. Причем основная масса их будет находиться на той части барабана, которой соответствуют наиболее часто встречающиеся исследуемые напряжения данной величины. Освещенность фотодиода, а следовательно, и отклонение луча осциллографа по вертикали пропорциональны количеству царапин на данном участке. Учитывая, что вращение барабана и движение луча осциллографа по горизонтали равномерны и синхронизированы, можно по оси абсцисс экрана осциллографа нанести шкалу в единицах исследуемой величины, а по оси ординат — шкалу количества замеров. В слу1р чае необходимости шкала ординат градуируется при определенном количестве замеров какой-либо одной величины.

Периодическое покачивание кронштейна с электромагнитом с помощью водила необхо)S димо для устранения наложения царапин друг на друга при большом количестве измерений.

Предмет изобретения

Устройство для получения кривой статисти2о ческого распределения случайных процессов, содержащее элемент сравнения управляющий отметчиком, запоминающее устройство и регистрирующее устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения точности работы, оно

25 выполнено в виде связанного с электродвигателем запоминающего барабана, над рабочей поверхностью которого расположен воздействующий на него отметчик, связанный с механическим сканирующим устройством, причем рО фотодиод считывающего устройства связан с вертикальным входом осциллографа, горизонтальный вход которого соединен с источником пилообразного напряжения.