Способ осаждения карбидных покрытий на изделия
ОПИСАНИЕ изовеитиния
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
28I996
Союз Советских
Социзлистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 21,11.1967 (№ 1136150/22-1) Кл. 48b, 11/08 с IпIIр>исоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14.1Х.1970. Бюллетень ¹ 29
Дата опубликования описания 7.XII.1970
МПК С 23с 11/08
УДК 621.793.16(088.8) Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
A. H. Минкевич и A. 3. Пименова
Московский институт стали и сплавов
Заявитель
СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ КАРБИДНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ
Изобретение относится к области нанесения карбидных покрытий на изделия из паро-газовой смеси.
Известен способ осаждения карбидных покрытий на изделия, например карбида титана, в вакууме из паров четыреххлористого титана и углеводорода при нагревании. Однако применение в качестве восстановителя водорода является взрывоопасным.
Предложенный способ отличается от известного тем, что, с целью обеспечения взрывобезопасности ведения процесса, в качестве восстановителя четыреххлористого титана до низших хлоридов, применяют титановую губку, нагретую до температуры 900 — 1000 С. Вместо титановой губки можно применять титановую стружку.
Испаряемость хлоридов и углеводородов повышают за счет небольшого разрежения (0,1—
1 мм рт. ст.), создаваемого в камере форвакуумным насосом.
Так, например, при осаждении карбида титана на поверхность металлов и сплавов при температуре 900 — 1100 С четыреххлористый титан пропускают через реакционную камеру, содержащую металлический титан в виде губки, и восстанавливают до двуххлористого, диспропорцнанирующего на поверхности образца с образованием атомарного титана. Одновременно в камеру подают углеводород, например толуол, связывающий титан в карбид.
Поток газов осуществляют при разрежении
1 — 10 2,игл рт. ст. При температуре 1000 С и выдержке 1 час осаждают слои карбида титана толщиной 10 — 40 >як. Осажденный слой карбида титана имеет высокую мнкротвер1о дость (3500 — 4000 кг/л,и - ), абразивную стойкость и кислотостойкость.
ПО предложеннокгу способу можно Оса?кдать на поверхность различных материалов покрытия из карбидов тугоплавких металлов
15 и неметаллов, например из карбида кремния.
Предмет изобретения
Способ осаждения кароидных покрытий на изделия, например карбида титана в вакууме
20 из паров четыреххлористого титана и углеводорода в присутствии восстановителя при нагревании, от гичаюгаийся тем, ITQ, с целью обеспечения взрывобезопасности ведения процесса, в качестве восстановителя четыреххло25 рнстого титана до низших хлоридов, применяют титановую губку, нагретую до температур ы 900 — 1000 С.
