Патент ссср 277498

(1i) 277 98

ОП ИСАЙ ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистицеских

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (32) Заявлено 04.11.68 (21) 1280239/22-1 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано22.07,70.Бюллетень № 24 (45) Дата опубликования описания 15.04.77 (5}) И. Кле

С 23 С 11/08

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изооретений н открытий (53) УДК621.793.16:

; 669,763.5(088.8) А. И. Тютюнников и В, Ф. Функе (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКАРБИДОВ ТУГОПЛАВКИХ

МЕТАЛЛОВ 1. Способ получения монокарбидов туго плавких металлов из наро-газовой смеси, 25 содержащей пентахлорид металла, водород, =1-5.

Изобретение относится к области получения различных соединений металла из парогазовой смеси на нагретой подложке.

Известей способ получения монокарбидов, тугоплавких металлов из паро-газовой смест, g содержащей пентахлорид осаждаемого металла, овдород, углеродсодержащий и инертный газы.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что пропесс осуществляют о при температуре 850-1300 С и в состав наро-газовой смеси в качестве углеродсо,держашего газа вводят четыреххлористый углерод при следующем соотношении компонентов, об.%: 15

Пентахлорид металла 1-16

Четыреххлористы и углерод 1-16

Водород 5-42

Инертный,газ Остальное I и молярном соотношении комопонентов .: ап . четыреххпористый углерод = 0,5-1 пентахлорид !металла 1 водород

Это позволяет повысить качество осадка.

В качестве пентахлорида металла в состав паро-газовой смеси может быть введен пентахлорид ниобия или пентахлорид тантала.

Инертным газом служит аргон. О=аждент е монокарбидов осуществляют на подложку. из1 вольфрамовой проволоки или фольги, которуЮ нагревают, например, " пропусканием електрн о ческого тока до температуры 850-1300 CJ

Скорость потока паро-газовой смеси составляет 4,8-5,3 м/час, при этом выход монокарбида металла достигает 5-10%. Осуществление пропесса при пониженных температурах способствует получению плотных, мелкозер нистых, высококачественных осадков карбидов ниобия и тантала.

Формула изобретения

3 углеродсодержащий и инертный газы, о т -; личающийся тем,что,сцелью повышения качества осадка, нродесс осуществляют при температуре подложки 850о

-1300 С и в качестве углеродсодержащего газа в состав наро-газовой смеси вводят четыреххлористый углерод при следующем соотношении компонентов, об.%:

Пентахлорид металла 1-16 Четыреххлористый углерод 1 -16

Водород 5-42

Инертный газ Остальное ймолярном соотйошении компонентов

4 реххлористый углерод 0 5-1 пентахлорид металла водород — 1-5 пентахлорид металла

Г 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пентахлорида ме- галла в состав наро-газовой смеси вводят аентахлорид ниобия.

Ip 3,Способпоп. 1, отл ичаю,-щийс я тем, что в качестве пентахлорида ме;талла в состав наро-газовой смеси вводят

; пентахлорид тантала.

Составитель ll Казакова

РедактоР T. Фадеева ТехРед 3. фанта КоРРектоР В ЗоРина

Заказ /Ц И Тираж } 36 Подписное

OHHHIIH Государственного; комитета Совета Мйнистров СССР по делам изобретений и открытий.

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПЙП "Патент r. Ужгород. ул. Проектная, 4