Шаговый привод
>и эл..о-, -, х ,Г т
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
258464
Сотое Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21g, 11/02
Заявлено 05.V1.1967 (№ 1160?16/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
МПК Н Oll
УД К 621.382 (088.8) Комитет па делам изааретеиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
Опубликовано ОЗ.Х11.1969. Бюллетень ¹ 1 за 1970 г.
Дата опубликования описания 17.П.1970
Авторы изобретения И. М. Глазков, А, С. Карачун, Н. И. )Кинь и В. Ф. Масленков
Заявитель
ШАГОВЫЙ ПРИВОД
Изобретение относится к оборудованию, применяемому для изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Известный электромеханический привод, .содержащий электродвигатель, электромагнитную муфту с тормозом, ходовой винт с гай«ой, рабочий стол, электронный блок управления с программным устройст вом и датчик углового |положения ходового винта в виде диска с отверстиями, фотод иода и источника света, не обеспечивает высокой точности шатовых перемещений рабочего стола, вследствие инерционности программного и иополнительного устройств.
Также известны, приводы прерывистото движения, содержащие электродвигатель, однооборотную муфту, червячную inapy, рабочий стол, командно-распределительное устройство и фиксатор стола. Однако этот привод также не обеспечивает требуемой точности щаговых перемещений из-за наличия зазоров в соединениях муфты.
С целью повышения точности шаговых перемещений .в,предлагаемом приводе на наружной,поверхности ведомой полумуфты выполнены фиксирующие выступы, взаимодействующие с управляемым от программного устройства рычатом и определяющие, заданное положение ходового винта. Между выступами образующими паз, расположен подпру- жиненный:палец, утопленный в углублении паза и взаимодействующий с ведущей полумуфтой.
На фиг. 1 изображена кинематическая схема шагового привода; .на фиг. 2 — муфта в общем виде и разрез по А — А.
Универсальный шаговый привод содержит электро гвитатель 1, шестерни 2 — 5 редуктора программного устройства, .кулачок 6, рычаг 7, 10 приводимый в действие пружиной 8, муфту
9, установленную между электродвигателем
1 и ходовым винтом 10, гайку 11 и рабочий стол 12. Муфта 9 .состоит из ведущей полумуфты 18, на которой .выполнены упоры 14, и
15 ведомой полумуфты 15, имеющей вьгступы 16, образующие паз 17. В углублении паза расположен подпружиненный .палец 18.
Движение от электродвигателя 1 через шестерни 2 — 5 редуктора передается кулачку 6
20 и рычагу 7. Палец !8 под действием пружины входит в зацепление с упором И ведущей полумуфты 18. Ведомая полумуфта 15 вращается до тех пор,,пока рычаг 7 удерживается над ней кулачком 6. Когда один конец рычага
25 попадает во впадину кулачка 6, другой конец рычага прижимается пружиной 8 к ведомой полумуфте 15 и акользпт по |поверхности до западания в .паз 17, после чего он нажимает
; на палец-18 и размыкает муфту. Под действи30 ем пружины 8 рычаг 7 доворачивает полумуф258464
Предмет изобретения
Фиг 2
Составитель В. Мирошкина
Текред Т. П. Курилко Корректор Л. A. Царькова
Редактор T. Орловская
Заказ 789/3 Тираж 499 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-35, Раушская наб., д. 415
Типография, пр. Сапунова, 2 ту 15 до соприкооновения фиксирующей части рычага и обеих выступов 1б полумуфты 15.
Этим достигается остановка и точная фиксация рабочего стола в заданном положении.
Далее цикл повторяется. 5
У правление рычагом может осуществляться и другим программным устройством, на пример электромагнитом, Шаго вый при вод, содержащий электродвигатель, муфту, ходовой винт с гайкой, рабочий стол и программное устройство для задания величины шага рабочего стола, отличающий ся тем, что, .с целью повышения точности шаговых перемещений стола, на наружной поверхности,ведомой полумуфты выполнены фиксирующие выступы, взаимодействующие с управляемым от,программного устройства рычагом и определяющие заданное положение ходового винта, между которыми расположен подпружиненный палец, утопленный в углублении паза, образо|ванного фиксирующими BbIcT)"ïàìè, и взаимодействующий с ведущей полумуфтой.
