Способ получения германиевых р-п переходов

О П И С А Н И Е 2480 86

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Свез Соввтвкик

Социалистические

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26.XI.1966 (М 1115048/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 10.Vll.1969. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 9.XII.1969

Кл, 21g, 11/02

МПК Н 01 l

УДК 621.382.002 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

М. М, Некрасов, Г. В. Рябченко, H. Д. Гордиенко, Ю. М. Смирнов и А, В. Дидевич

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕРМАНИЕВЫХ р-п ПЕРЕХОДОЙ

Предмет изобретения

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов.

При существующих способах получения термостабильных германиевых р-п переходов изменяются объемные свойства полупроводникового кристалла в процессе термической обработки, что приводит к ухудшению некоторых параметров приборов, в частности появляется «текучесть» обратных токов, ухудшаются усилительные свойства транзисторов.

Предлагаемый способ устраняет указанные недостатки и позволяет улучшать термостабильность приборов без их дополнительной обработки.

Сущность способа заключается в том, что в германий с удельным сопротивлением

5+ 1 ом. см,и легированный сурьмой, идущий на .изготовление монокристаллов для р-п переходов, вводятся добавки кремния от 0,5 и более вес. %.

Введение атомов кремния в кристаллическую решетку германия увеличивает ширину запрещенной зоны полупроводника. За счет этого улучшается термостабильность обратных токов и повышается предел рабочих температур германиевых приборов, 5

1. Способ получения германиевых р-и пе10 реходов путем легирования исходного материала сурьмой с образованием односторонней подложки определенного типа проводимости, на которую затем наносят диффузией слой с противоположным типом проводимости, отли15 чающийся тем, что, с целью улучшения термостабильности приборов, в исходный материал в процессе легирования вместе с лигатурой вводят добавки кремния.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что

20 добавки кремния в исходный германий с удельным сопротивлением 5+-1 ом. см составляют.не менее 0,5 вес. %.