Способ получения p — я-переходов

184979

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 10.11.1965 (№ 942624/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 30.VII.1966. Бюллетень № 16

6вбв 6016T6RN

Социалиатнчеоких

Республик

Кл, 21g, 11/02

МПК Н 011

УДК 621.382.2(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 1.Х.1966

Авторы изобретения

И. В. Грехов, И. А. Линийчук и В. Б

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ р — и-ПЕРЕХОДОВ

Известен способ получения р — и-переходов на кремний, заключающийся в том, что проводят термодиффузию бора в окисляющей атмосфере (например, на воздухе) из боросиликатного стекла состава m ВзОз и SiO. „Этот способ не дает возможности получить высокую поверхностную концентрацию бора в кремнии (концентрация В (1 —:2) 10» см з) и не создает равномерной концентрации бора по площади, при этом глубина диффузии бора невелика.

Предложенный способ отличается от известного тем, что термодиффузия проводится из борокальциевосиликатного стекла состава

1 ВзОз ° и SiU» и СаО, в котором СаО, обладая большей упругостью пара, чем В Оз, создает предпосылки для поддержания достаточно высокого относительного содержания ВзОз в стекле в процессе термодиффузий. Способ позволяет получить высокую поверхностную концентрацию бора, равномерную по площади (концентрация бора 10» см 3) при большой глубине диффузии бора.

Предложенный способ заключается в том, что на шлифованную поверхность пластины наносится спиртовой раствор борной кислоты с добавкой небольшого количества Са(1чОз)з или любого другого растворимого в спирте и разлагающегося при нагреве до СаО соединения кальция. Спиртовой раствор равномерно растекается на поверхности пластины, обеспечивая при высыхании однородное распределение НзВОз и Са (ХОз) з.

5 При термообработке в окисляющей атмосфере на поверхности пластины образуется стекло состава l ВзОз ° nSi02 ЙСа0, содержащее значительное количество ВзОз. Поскольку скорость испарения окиси кальция довольно вы10 сокая, то при длительной термообработке большая часть ее испаряется, и толщина слоя стекла на поверхности пластины уменьшается.

Это ведет к увеличению процентного содержания ВзОз в стекле и в значительной степени

15 компенсирует испарение ВзОз. Наличие на поверхности кремниевой пластины в течение длительного времени источника с высоким содержанием ВзОз обеспечивает получение высокой поверхностной концентрации (1 ° 10зз см >).

Предмет изобретения

Способ получения р — и-переходов на кремнии термодиффузией бора в окисляющей атмо

25 сфере, отличающийся тем, что, с целью полу. чения высокой поверхностной концентрации бора в кремнии при большой глубине диффу. зии, ее проводят из борокальциевосиликатного стекла состава lÂð03 ° и ЫОв ° /з CaQ,