Устройство для измерения высоты неровности
Союа Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт.,свидетельства ¹
Заявлено 25,Х1.1966 (№ 1115479/26-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 12.111.1968. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 20Х.1968
Номитет по делам иаобретвний и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
В. А. Зверев и А. A. 1(учин
Ленинградское оптико-механическое объединение
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОТЫ НЕРОВНОСТИ
ПОВЕРХНОСТИ
Известные устройства для измерения высоты неровности поверхности ло искривлению изображения светящейся щели, содержащие осветитель и отсчетное .приспособление, не обеспечивают достаточной точности измерения. Предложенное устройство отличается от известных тем, что оно сна|бжено светоделительным приспособлением и по меньшей мере одним объективом с системой зеркал, проектирующими изображение щели осветителя на исследуемую область поверхности симметрично относительно нормали к указанной поверхности в точке исследования.
Это повышает точность измерения.
На фиг. 1 показана принципиальная оптйческая схема устройства; на фиг. 2 — вид поля зрения в известных устройствах аналогичного назначения; на фиг. 3 — вид поля зрения в описываемом устройстве.
Описываемое устройство для измерения высоты неровности по искривлению изображения светящейся щели с помощью микроскопов светового сечения основано на разделении светоделительным приспособлением 1 изображения светящейся щели 2 на два изображения, одно из которых проходит сквозь светоделительное приспособление, а другое отражается от него. Созданные таким образом два изображения 21 щели (см. фиг, 2 и 3) проектируются в одно и то же место исследуемой поверхности с двух встречных направлений при помощи одинаковых объективов 8 и системы зеркал 4 и 5. Причем каждое направление проектирования щели является отражением другого от исследуемой .поверхности, т. е. объективы 8 принадлежат одновременно и системе, проектирующей щель на поверхность, и системе наблюдательной. Отразившиеся искаженные неровностями поверхности изображения щели
>Р собираются на суммирующем приспособлении, которым в данном случае служит светоделительное приспособление 1, Таким образом, что искривления изображения щели от каждого направления проектируются на суммирующем устройстве зеркально относительно друг друга. В результате этого видимая величина неровности в поле зрения наблюдательной системы 5 увеличивается вдвое и, следовательно, погрешность измерения соответственно уменьшается, Предмет изобретения
Устройство для измерения высоты неровности поверхносги по искривлению изображечия светящейся щели, содержащее осветитель, проекционное устройство и отсчетное приспособление, огличшои1ееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено светоделитсльным приспособлечием и по
3р меньшей мере одним объективом с системой
213377
Фиг. g
Ри2 1
Фиг. 3
Составитель В. Ваитории
Текред Л, Я. Бриккср Корректоры: А. П. Васильева и С. Ф. Гоптареико
Редактор Л. А. Утехина
Заказ 1053/18 Тираж 530 Подписно-.
Ц11ИИПИ Компте-а по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типографии, пр. Сапунова, 2 зеркал, проектирующими изображение щели осветителя .на исследуемую область поверхности симметрично относительно нормали к указанной .поверхности в точке исследования.
