Вакуумная система

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СОюз Ссветски2

Социалистическил

Респуйлив

Зависимое от авт. свидетельства №

1(л. 27d, 4/00

;3 явлено 04.V11.1966 (¹ 1088054(26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК F 04g

УДК 621.521(088.8) Комитет по делам изооретений и открытий при Совете тлинистрое

СССР

Опубликовано 29.11.1968. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 13Х.1968

Авторы изобретения

Л. H Розанов, Г. С. Комаишко, И, К. Мешковский, С. П. Жданов, Е. В, Коромальди и М. В. Гнучев

Объединение электронного приборостроения «Светлана»

Заявитель

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Предмет изобретения

Изобретение предназначено для безмасляной откачки различных объемов и приборов.

Вакуумные откачные системы, содер>кащие адсорбционный и диффузионный паромасляный насосы,,известны.

Предлагаемая вакуумная система отличается от известных тем, что между диффузионным насосом и откачиваемым объемом установлена пористая перегородка, пропускаюшая инертные газы и задерживающая пары масла. Перегородка выполнена, например, из пористого стекла с размером пор е более

10 Л.

Описываемая вакуумная система позволяет удалять из объема инертные газы и повысить качество откачки.

На чертеже схематически изобра>кена предлагаемая система.

Описываемая вакуумная система позволяет откачиваемый объем 2, пористую перегородку >, пароструйный насос 4, насос о. Перегородка выполнена из пористого стекла Na 7/23, выщелоченного после закалки. Такие перего родки могут быть изготовлены с размерами о пор 3 — 4А, что делает их непроницаемыми для паров масла, однако инертные газы могут проходить через них достаточно свободно.

Экспериментально было определено, что пористые >перегородки с размерами пор порядка ЗОА также не пропускают паров масла, видимо, из-за большой длины молекул последних и могут успешно применяться. Проводимость пористых перегородок по гелию оказалась на 2 — 3 порядка выше, чем по воздуху, что делает ненужным применение паромасляного насоса для получения давлений выше

10 лл рт. ст. B этом случае в масляной части откачной системы оказывается достаточным одного вращательного насоса.

1. Вакуумная система для откачки объемов, содержащая параллельно подсоединенные адсорбциоппый и диффузионный паромасляный насосы, отличающаяся тем, что, с целью удаления из объема инертных газов прп обеспечении безмасляной откачки, между диффузионным насосом и откачиваемым объемом устачовлена пористая перегородка, пропускающая инертные газы и задерживающая пары масла.

2. Вакуумная система по п. 1, отличающаяся тем, что перегородка выполнена из пори а стого стекла с размерами пор не более 10А, Составитель Г. А. Жукова

Редактор П. С. Шлайн Текред Т. П. Курилко Корректоры: T. Д. Чуваева н А. П. Татаринцева

Заказ 913/б Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, нр, Сапунова, 2