Сорбционно-ионный насос
206796
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Сопиалистически,т
Республик
Зависимое от авт, свидетельства М
Кл. 27с(, 5/04
Заявлено 10.1.1966 (Ф 1048249/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 08,XII.1967. Бюллетень М 1
Дата опубликования описания 8 П.19б8
МПК F 04g
УДК 621.521(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения Г. А. Корецкий, T. Г. Славинская, А. А. Кузьмин и E. H. Мартинсон
Заявитель
СОРБЦИОННО-ИОННЫЙ НАСОС
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам.
Известны сорбционно-ионные вакуумные насосы без магнитного поля, в которых в качестве геттера используется титан, а источником электронов служит высокотемпературный вол ьфр а м ов ы и катод.
Известны также конструкции, в которых источником электронов служит сам прямонакальный испаритель титана, а для обеспечения необходимой ионизации при малом токе термоэмиссии испарителя применено магнитное поле.
Предлагаемый сорбционно-ионный насос без магнитного поля отличается от известных конструкций тем, что в нем совмещены функции испарителя и катода в одном рабочем элементе (испарителе-эмиттере) из специального сплава с повышенной термоэлектронной эмиссией.
В качестве материала для испарителей-эмиттеров титана предлагается сплав титана и ниобия с присадкой гексаборида лантана, обладающий при температурах достаточно интенсивного испарения титана высокой термоэлектрической эмиссией.
Удельная термоэмиссия предлагаемого сплава в 200 раз превышает эмиссию промышленного образца прямонакального испарителя.
Введение гексаборида лантана в сплав титана с ниобием дает возможность получить качественно новый испаритель-эмиттер, обладающий рядом важнейших свойств.
1. Малой работой выхода (3,17+-0,05 эв), 2. Мелкокристаллической структурой (следовательно, сплав имеет большее время рекристаллизации, чем исходный бинарный сплав).
Изменяя процентное содержание тугоплавкого компонента и легирующей добавки можно варьировать в некоторых пределах скорость испарения титана и термоэмиссию и приготовлять сплавы с повышенной термоэмиссионной способностью, применимые не только для сорбционно-ионных насосов, а для ряда специальных электровакуумных приборов.
20 Предмет изобретения
1. Сорбционно-ионный насос с испарителем, выполненным на основе титана, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции насоса, материал испарителя содержит присадку
25 гексаборида лантана.
2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит 0,2 — 3 (вес) о/о гексаборида лантана.
