Патент ссср 159598
1,, Ф
E. Н. Мартинсон и Б. И. Плечев
ВАКУУМНЫЙ ОТКАЧНОЙ АГРЕГАТ
Известны вакуумные откачные агрегаты, содержащие пароэжекторный и сорбционный насосы.
Предложенный агрегат отличается от известных тем, что цеолитовые охлаждаемые насосы подключены к откачиваемому об ьему двумя параллельными линиями, а последовательно с ними установлен эжекторный i13pOводяной насос с цеолитовой неохлаждаемой ловушкой для улавливания паров воды.
Такое выполнение агрегата позволяет осуществлять периодическую или непрерывную откачку слабосорбируемых инертных газов при уменьшении остаточного давления.
На чертеже изображена схема предложенного агрегата.
К откачиваемому объему 1 подключены две параллельные линии охлаждаемых цеолитовых насосов 2. Последовательно с ними устаПодписная группа № 129 новлен эжекторный пароводяной насос 8 с цеолитовой неохлаждаемой ловушкой.
Для получения сверхвысокого вакуума в объеме 1 может быть установлен сорбционноконденсационно-ионный насос.
Предмет изобретен ия
Вакуумный откачной агрегат, содержащий пароэжекторный и сорбционный насосы, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения остаточного давления и осуществления периодической или непрерывной откачки слабосорбируемых инертных газов, к откачиваемому объему подключены двумя параллельными рядами цеолитовые охлаждаемые насосы, последовательно с которыми установлен эжекторный пароводяной насос с цеолитовой неохлаждаемой ловушкой для паров воды.
