Патент ссср 186126
О П И C А Н И Е ISSI2S
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 07.XI I.1963 (№ 869387/23-5) с присоединением заявки №
Пр иоритет
Опубликовано 12.1Х.1966. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 14.Х.1966
Кл. 39b, 22/06
МПК С 08f
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 771.523,6:678.742,2 (088.8) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА
Предмет изобретения
Изобретение относится к технологии получения светочувствительных материалов для электронной техники.
Известны способы получения светочувствительных полимерных материалоЬ, основанные на том, что светочувствительный слой готовят из растворов полимеров (полиэтилена, поливинилхлорида, полиизобутилепа, поливинилового спирта и т. д.), содержащих сенсибилизаторы.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в состав светочувствительного слоя входит хлорсульфированный полиэтилен, обладающий после облучения ультрафиолетовым светом высокой химической стойкостью.
Способ позволяет получить светочувствительпый материал (фоторезист) с повышенной химической стойкостью.
Сущность способа состоит в следующем.
Готовят 2%-ный расгвор хлорсульфированного полиэтилена в трихлорэтилене с добавкой 2 — 10% от веса полимера сенсибилизатора (кетон Михлсра, бензофенон). Раствор наносят на поверхность медной фольги и высушивают. После сушки на фольге образуется светочувствительный слой, который экспонируют через негагив ультрафиолетовым светом от лампы ПРК-4 в течение 5 — 15 ->tuH,. После экспозиции светочувствительный слой обрабатывают смесью трихлорэтилена и четыреххлористого углерода в соотношении 1: 2. Неосвещенные участки при этом растворяются, и па фольге образуется рельефное изображение из полимера, обладающего повышенной хнмиче1î ской стойкостью благодаря его структурированию под действием ультрафиолетового излучения.
Способ получения светочувствительного материала может найти практическое примене15 ние в электронной технике.
Способ получения светочувствительного ма20 тернала (фоторезнста) нанесением на подложку раствора полимера, содержащего сенсибилизатор, отличаютиийся тем, что, с целью получения материала с повышенной химической стойкостью, в качестве полимера исполь25 зуют хлорсульфированный полиэтилен.
