Устройство для испарения титана

l71500

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 27d, Зр

Заявлено 10.Ч1.1963 (№ 840087/24-6) Государственный

«омитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК F 04g

УДК 621.521(088.8) Опубликовано 26 Ч.1965. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 17.VII.1965

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ ТИТАНА цу 9, которое свободно перемещается в держателе 10 в аксиальном направлении, что необходимо при изменении длины растяжек, происходящем вследствие изменения «х температуры. Держатели 8 и 10 укреплены на стойке 11, которая скобой 12 прикреплена к плите И.

Танталовая подложка б на внутренней стороне титанового испарителя предохраняет последний от местных перегревов, приводящих к его разрушению.

Устройство для испарения титана путем электронного подогрева в сорбционно-ионных вакуумных насосах, содержащее раскаленный вольфрамовый катод и титановый испаритель, отличающееся тем, что, с целью обеспечения полного и равномерного испарения титана и предохранения его от местных перегревов, испаритель со стороны катода снабжен подложкой из тугоплавкого материала, например тантала.

Подписная группа Л3 129 с присоединвнием заявки №

Приоритет

Известны устройства для испарения титана путем электронного подогрева в сорбционноионных вакуумных насосах, содержащие вольфрамовый раскаленный катод и титановый испаритель. 5

Предложенное устройство отличается от известных тем, что титановый испаритель со стороны катода снабжен подложкой из тугоплав-кого материала, например тантала. Это обеспечивает полное и равномерное испарение ти- 10 тана и предохраняет его от местных перегревов.

На чертеже показано предложенное устройство.

Спиральный вольфрамовый катод 1 крепит- 15 ся одним концом в зажиме 2, а другим протягивается через направляющую 8 и крепится к пружине 4, которая обеспечивает достаточное натяжение катода во время его нагрева. Титановый испаритель 5, выполненный в 20 виде цилиндра, с танталовой подложкой б посредством проволочных растяжек 7 из тугоплавкого материала крепится с одной стороны к держателю 8, а с другой стороны к кольПредмет изобретения

171500

Составитель T. Рабчук

Редактор П. Вербова Текред А. A. Камышникова Корректор Л. Е. Марисич

Заказ 1404/15 Тираж 1425 Формат бум. 60 (90 /8 Объем 0,16 изд, л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государствепного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2