Магнитный электроразрядный высоковакуумныйнасос
Авторы патента:
166086
Риг (Риг. 2
Составитель Т. Рабчук
Редактор П. Вербова Техред А. A. Камышчикова Корректор Т. С. Дрожжийа
Заказ 3028/16 Тираж 1250 Формат бум. 60;к901/з Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп.
ЦЕ!ИИГ111 Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Похожие патенты:
Высоковакуумный насос для откачки газов // 164921
Патент 164920 // 164920
Способ получения вакуума // 164919
Патент 159598 // 159598
Патент 159105 // 159105
Патент 156262 // 156262
Патент 151421 // 151421
Электропривод насоса // 144093
Патент 164920 // 164920
Способ получения вакуума // 164919
Патент 161789 // 161789
Патент 160563 // 160563
Патент 151421 // 151421
Сорбционный высоковакуумный насос // 145297
Способ получения криптона и ксенона // 61026
Адсорбционный насос // 2101564
Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения
Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
