Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов. Цель изобретения - обеспечение возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов. Рефлектометр содержит источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр с двумя столиками 1 и 2 с возможностью размещения на них эталонного и контролируемого объектов, модулятор, фотоприемник, два поляризатора 6 и 7 со взаимно перпендикулярными плоскостями поляризации. При этом из плоскостей установлена в плоскости горизонтально расположенного столика 1, а другая - в плоскости, перпендикулярной плоскости столика 2. Рефлектометр также содержит четыре плоских зеркала 8, 9, 10 и 11, установленных попарно по обе стороны от каждого из столиков 1 и 2. Модулятор выполнен в виде двух зеркал 3 и 4, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал 8, 9 и 10, 11 и кинематически связанных между собой. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (и)5 G 01 В 11/30

ГОСУДАРСТВЕНЫЙ КОМИТЕТ

00 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР йЫ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

| Ъ (21) 4663710/28 (22) 20,03.89 (46) 15,08.91. Бюл, ¹ 30 (71) Киевский государственный университет им. Т, Г. Шевченко (72) П.И,Дрозд, Л,В.Поперенко и И.А.Шайкевич (53) 531.715.27(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1352201, кл. G 01 В 11/30, 26.04,83. (54) РЕФЛЕКТОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ПОЛЯРИЗАЦИОННЫХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких обаектов. Цель изобретения— обеспечение возможности измерения комбинированных поляризационных парамет Ы 1670394 А1 ров поверхности жидких объектов. Рефлектометр содержит источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр с двумя столиками 1 и 2 с воэможностью размещения на них эталонного и контролируемого объектов, модулятор, фотоприемник, два поляризатора 6 и 7 со взаимно перпендикулярными плоскостями поляризации. При этом одна из плоскостей установлена в плоскости горизонтально расположенного столика 1. а другая — в плоскости, перпенди кулярной плоскости столика 2. Рефлектометр также содержит четыре плоских зеркала 8 — 11, установленных попарно по обе стороны от каждого из столиков 1 и 2.

Модулятор выполнен в виде двух зеркал 3 и

4, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал 8, 9 и 10, 11 и кинематически связанных между собой.

2 ил, i

1670394

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляриэационных параметров поверхности жидких объектов.

Цель изобретения — обеспечение воэможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема рефлектометра, вид спереди; на фиг, 2— то же, вид сверху, устройство содержит источник излучения (не показан), столик 1, предназначенный для размещения на нем эталонного объекта (не показан), столик 2, предназначенный для размещения на нем контролируемого объекта (не показан), зеркала 3 и 4, фотоприемник 5, поляризаторы 6 и 7, зеркала 8 — 11. Гониометр включает столики 1 и 2, 00 — ось вращения гониометра. Модулятор включает зеркала 3 и 4, которые кинематически связаны между собой. Плоскости поляризации поляризаторов 6 и 7 взаимно перпендикулярны и установлены так, что одна иэ них размещена в плоскости, перпендикулярной плоскости столика 1. а другая— в плоскости горизонтально расположенного столика 2.

Рефлектометр работает следующим образом.

Направленное вдоль оси 00 излучение

1 попадает на зеркало 3, при вращении которого вокруг оси, перпендикулярной оси

00, излучение поочередно направляется либо на столик 1, либо на столик 2, а затем, после отражения от эталонного и контролируемого объектов и соответственно зеркал

10 и 11. направляется на зеркало 4, направляющее поочередно (вследствие кинематической связи с зеркалом 3) излучение либо от эталонного, либо от контролируемого объекта к фотоприемнику 5, где регистрируемый сигнал переменного тока (напряжения) прямо пропорционален уровню различия коэффициентов отражения в р-поляризации для контролируемого объекта и s-поляризации для эталонного объекта. Поскольку плоскости поляризации поляризаторов 6 и 7

50 взаимно ортогональны, то г ри их повороте на 90 вокруг оси пучка излучения, направления плоскостей поляризации отраженного от эталонного и контролируемого объектов излучения меняются местами и регистрируемый на фотоприемнике 5 сигнал переменного тока (напряжения) соответствует уровню различия коэффициентов отражения в р-поляризации для эталонного объекта и з-поляризации для контролируемого объекта. По разности величин сигналов переменного тока, полученной в результате размещения в укаэанных двух азимутальных положениях поляризаторов 6 и 7, отличающихся на 90О, определяют величину расхождения параметров поверхности контролируемого объекта по отношению к эталонному, С помощью рефлектометра можно измерить комбинированные поляризационные параметры поверхностей как жидких, так и твердых объектов плоской формы.

Формула изобретения

Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта, содержащий источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр, включающий столики, предназначенные для размещения на них соответственно эталонного и контролируемого обьектов, модулятор и фотоприемник, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью обеспечения воэможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов, он снабжен двумя поляризаторами со взаимно перпендикулярными направлениями поляризации, одно из которых параллельно плоскости столика, предназначенного для размещения на нем эталонного объекта, а другое — параллельно плоскости, перпендикулярной плоскости столика, предназначенного для размещения на нем контролируемого объекта, и четырьмя плоскими зеркалами, установленными попарно по обе стороны от каждого столика, а модулятор выполнен в виде двух пар плоских зеркал, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал и кинематически связанных между собой.

1670394

Составитель Л.Лобзова

Редактор М.Кобылянская Техред М,Моргентал Корректор М.Демчик

Заказ 2737 Тираж 371 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для обнаружения острых сколов на шероховатых металлических поверхностях

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскости

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля чистоты обработки высокоотражающих металлических поверхностей изделий, не имеющих регулярной составляющей шероховатости

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, в оптических рефлектометрических способах в машиностроении, оптической, электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклонения Rq микронеровностей от средней линии профиля

Изобретение относится к измери- , тельной технике, я частности к оптическим средствам контроля шероховатой поверхности, и может использоваться для контроля параметров шероховатой поверхности после механообрайотк , i(c ib изобретения - повышение точности и информативности контроля и расшире нк функциональных возможностей за счг;г устранения погрешности от неравномерности чувствительности Изобретение относится к измерительной технике, в частности к оптическим средствам ггнтроля параметров шероховатой поверхности, и может быть использовано для контроля параметров шероховатой поверкног ги после механообработки

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля формы поверхности оптической детали из пористого свекла (ПС)

Изобретение относится к измерительной технике, точнее к оптическим измерительным методам определения высоты шероховатости поверхности

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих внутреннюю резьбу

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия
Наверх