Способ измерения шероховатости поверхности детали

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, в оптических рефлектометрических способах в машиностроении, оптической, электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклонения Rq микронеровностей от средней линии профиля. Цель изобретения - повышение точности определения за счет проведения предварительных измерений на аттестованной по шероховатости поверхности и использования полученных результатов в измерениях на исследуемых деталях. Облучают поверхность пучком коллимированного монохроматического естественно поляризованного излучения последовательно под двумя углами И, 2 в диапазоне 40-70 град предварительно фотоэлектрически измеряют интенсивность 131 и Э2 зеркальных составляющих отраженного излучения соответственно от аттестованной по параметру Rq поверхности, полученной аналогичным образом из того же материала, что и измеряемая деталь,и определяют параметр А по формуле А 1-M/Ra (i2)-MO(ii), где O(ik)2cos1;25ik/1+ cos ik, М-1з1обр./1з2обР Ф(12)/Ф(м)., 2,а после измерений I3i, 1з2 на исследуемых поверхностях определяют Rq по формуле Ядт{1-М/А Ф(12)-МФ(м)} 1 ил Ё

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!!5 G 01 В 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

l ! !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4611955/28 (22) 02.12.88 (46) 23.06.91. Бюл. ¹ 23 (71) Черновицкий государственный университет (72) В.Г.Житарюк, С.Г.Гуминецкий и

И.А.Бучковский (53) 531.715.27 (088.8) (56) Топорец А.С,Определение размеров шероховатости непрозрачной полированной поверхности.-Оптико-механическая промышленность, 1978, № 5, с.68-69. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, в оптических рефлектометрических способах в машиностроении, оптической, электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклонения

Й микронеровностей от средней линии

Изобретение относится к измеритель. ной технике и может быть использовано, в частности, в оптических рефлексометрических способах в машиностроении, onткаческой, электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклонения микронеровностей от средней линии профиля.

Цель изобретения — повышение точности определения за счет проведения предварительных измерений на аттестованной по шероховатости поверхности и использо„„ 0 „„1657950 А1 профиля. Цель изобретения — повышение точности определения эа счет проведения предварительных измерений на аттестованной по шероховатости поверхности и использования полученных результатов в измерениях на исследуемых деталях. Облучают поверхность пучком коллимированного монохроматического естественно поляризованного излучения последовательно под двумя углами i1 i2 е диапазоне 40-70 град., предварительно фотоэлектрически измеряют интенсивность I» и 42 зеркальных составляющих отраженного излучения соответственно от аттестованной по параметру Rq поверхности, полученной аналогичным образом из того же материала, что и измеряемая деталь,и определяют параметр

А по формуле А = 1-М/R 5(Ф(!2)-МФ(!1)), где Ф(Ц=2соэ, is/1+ cos !!к, М=!з10бр./!эгБр.

1 25. 1,г.

Ф(!2)/Ф(!1). k-1, 2,в после измерений I.1, 2 на исследуемых поверхностях опре! еляют Rq no формуле Яя=;(1-М/А(Ф(!2)-МФ(!1))) . 1 ил. вания полученных результатов в измерениях на исследуемых деталях.

На чертеже представлена принципиальная схема устройства для реализации предлагаемого способа.

Устройство содержит источник 1 излучения, фотоэлектрический приемник 2. Позицией 3 обозначена исследуемая деталь.

Способ осуществляют следующим образом.

На предметный столик гониометра (не показан) помещают деталь 3 с известным параметром Rq и облучают от источника 1 излучения исследуемую поверхность пуч1657950

1,25

2cos

1+Cos 11

1,25 () (2со$ 12 )

1+cos I2

О.8

1 — Мд

А(12 Мде А/+1) где

1 — Моб 4обр(Ф(12) — Мобрф(11)1

Среднеквадратичное отклонение Rq микронеровностей от средней линии профиля определяют по формуле !

0.8

/ 1 — Мдет (А(12 Mäåò 11 )

Формула изобретения

Способ измерения шероховатости поверхности детали, заключающийся в том, щ =131 12 М 6 = э1обр

IЗ2 11 1э2обр *(11) 2 ОЗ 251

1 + со$ 2511

) (2со$ 2 ) 1+со$ 12

Составитель Л.Лобзова

Техред М,Моргентал Корректор О,Ципле

Редактор Н.Тупица

Заказ 1891 Тираж 394 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ком монохроматического коллимированного естественно поляризованного излучения под углами 11, 12, значения которых находятся в диапазоне углов 40 (11 < 12< 70, на о зеркальных углах отражения, равных углам облучения, фотоэлектрически регистрируют

СООтВЕтСтВУЮЩИЕ ИНтЕНСИВНОСтИ !31, lэ2.

Предварительно фотоэлектрически иэмеряЮт ИНтЕНСИВНОСтИ 1э1обр И 1э2обр СОСтаВЛЯЮщих отраженного излучения соответственно от аттестованной по паРаметРУ Rgoáp. повеРхности образца, полученного аналогичным методом из того же материала, что и исследуемая деталь 3.

Определяют параметр А по формуле

1 — Моб

Rgo6p(+i2) — МобРФ(11)) что облучают исследуемую поверхность детали пучком коллимированного монохроматического излучения под углами I1 и 12, измеряют интенсивность I» и 1э2 зеркальных составляющих отраженного излучения и определяют среднеквадратичное отклонение Rq микронеровностей от средней линии профиля, отличающийся тем,что,с

1п целью повышения точности определения, облучение поверхности проводят естественно поляризованным излучением в диапазоне углов 40О = 11 < 12 70,дополнительно измеРЯЮт ЭНаЧЕНИЯ I»o6p, И 1э2ебр., ПРИ ОтРажЕНИИ

I5 излучения от аттестованной по параметру

Rqo6ð повеРхности обРаэЦа, изготовленного аналогичным методом из того же материала, что и исследуемая деталь, а определение среднеквадратичного отклонения микронеровностей от средней линии профиля производят из соотношения