Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности плоских деталей

Авторы патента:

G01B11/30 - для измерения шероховатости или неровностей поверхностей

Изобретение относится к измерительной технике, связанной с определением параметров рельефа и характеристик физико-химического состояния поверхности плоских деталей на основе рефлектометрии поверхности и может быть использовано в оптической про-

СОЮЗ ССВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (.„1)5 а 01 В 11/çî

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТИРЫТИЯМ

ГУИ ГКНТ СССР (21) 4371391/28, (22) 02.12.87 (46) 15.05..91. Бкл. È 18 (71) Киевский государственный университет им. Т.Г.Шевченко (72) Н.И,Дрозд, Л.В.Поперенко и И.А.Шайкевич (53) 531о715.27(088.8) (5á) Авторское свидетельство СССР

Р 1499114, кл, С 01 В 11/30, 1988. г (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО

КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОБРАБОТКИ 11ОВЕРХНОСТИ ПЛОСКИХ gET>DIEÉ (57) Изобретение относится к измерительной технике, связанной с определением параметров рельефа и характеристик физико-химического состояния поверхности плоских деталей на основе рефлектометрии поверхности и может быть использовано в оптической промь?шлеп«ости, Цель изобретения вЂ” повышение то ?ности и производител?п?ости бес;о«гак-;«oro контроля качества поверхности деталей за счет выбора без

1?ерш?)с?«1,о()ок оптической системы оп5 тимального угла падения, при котором регнстрируе?ый сигнал в наибольшей степе«п чувствителен к отличию параметров фйэико-хил?пческого состояния

10 поверхности этапмшой и контролируемой деталей. Устройство для бесконтактного контроля качества обработки

ПОВЕРХ?(ОСТН ПЛОСКИХ ДЕтаЛЕй СОДЕРжнт источll«к llэ?tv(le?IE?ÿ установленные Ilo

ХОДУ E?3JIQ(?el?HEI Л?ОДУЛЯ ТОР (((Д13 а ПЛОС (ких зеркала 2 и 3, поляризатор 4,двагопиометра, один пз которых включа"т столик 5 а другой вЂ” столик 6, и фотоприемник 8, анализатор ?, установле«ный по ходу излучен??я перед фото" приемником 8. Два плоских зеркала 2 и 3 жестко соединены между собой, установлены между модулятором 1 и поляризатором 4 с возможностью поворота

??округ оси первого гониометра и кинематически связаны со столиками 5 и 6 обоих гониометров, а гониометры установлены так, что их оси вза?п?но перпендикулярны. 1 ил.

1!зо?. 1)етйше относится к измерпт ел (1 ой технике, связ анной с определеrllle.? параметров рельефа и хар:E(:тт Р(IСТ?IК ф«ЭI?КО-ХИМИЧЕСКОI"О СОСТ01125

?п:я поверхности плоских деталей на основе ре(1)3 ектометрии пове1)хно TH>

Л,О,- Е,)E ?тт„. 1?С??ОПЬ.3 О?)а?.,О Ц О??тнт?ЕСкой 1:Ромы((?лен?:.Ости.

Цт* IЬЮ ИЭОбрЕТЕНИя яЬЛяЕтС» ПОВЫшение ТО IE?OCT« H I?poEI3IIO(tEITettül?OCTH

t бесконтактнoro контроля качества попе.. ;ности деталей за счет выбора без пер-.юстпровок оптической системы o?lтп-!

?ал,I?OÃG угла падения п1)и котором

i)."гн "тpln)ус(lbIEI си1 нял в папООльнеп с? е??ени чупс(вителеп 1,- отличию параметров физико--химического состояния по?)ерх??ост?1 эталонной «контролируеI(o,"I деталей.

40 а чертеже изображена прикц??пиа1?»в иая схема устройcтва для бесконтактHG1 о ко троля качества обработки noepxEIoc I It I3Jloc.aIx qeTaJtei1. устро«ство содержит чея:?я («е показан), модулятор 1, плоские зеркала 2 и 3, поляризатор 4,. столик 5, столик 6, анализатор 7, (1)отопр??ем??ик 8 и приемно-регистрационОсн О< О, и 0 О вЂ” оси вращения

/ ( столиков 5 и 6 соответстве??но. Осн ((0103 и 0.О вЂ” взаимно перпен. .икулярПЫ. УГЛЫ т?адЕНИя Ц3 СВЕта IIH ЭтаЛОПнуB теталь 10 установленную на сто55 лике 5, и на контролируемую деталь 11, уста??оппен??ую на столике 6, равны

??с ?ду собой. Первый гониометр включает зеркала 2 и 3, поляризатор 4, столик 5, а второй вЂ” столик Ь, анализатор 7 H фотоприемник 8.

Устройство работает следующим образом.

Излучение от источника иэлуче????я ( направлено по оси О 0?. После прохождения через модулятор 1 и отражения от плоскогo зеркала 2, а затем и г?:1оского зеркала 3 излучение проходит Iepe» поляризатор - l и попадает на этало«ную деталь 10, закрепленную на столике 5 первого гониометра, 1IoJI»pII3 ??Top 4 установлен

«остью вращения вокруг направления проходящего через пего пучка излу?еш?я„Повороту столика 5 вокруг оси

О 0< на угол ЛС 3 за счет кипематичес? кой связи зеркалам 2 и 3 соответствует поворот на угол, вдвое больший (2Ьф. Это усло?п?е обеспечивает при изменении угла падения излучения на эгалон деталь 10 на столике 5 сохранение направления отраженного пучка, падающего затем на контролируемую деталь 11, закрепленную на столике 6

l второго гониометра, ось вращения 0 0 кот ор or î перпендикулярна о Си вр ащеl ния Ot О, поворо1 ного столика 5. Повороту анализатора 7 и фотоприемника

8 на угол 5Q соответствует поворот столика 6 на угол Ь /2. После отражения от контролируемой детали 11 закрепленной на столике 6 второго гониометра, излучение через анализатор 7 попадает па фотоприемнпк 8.

Червячные передачи обеспечивают кинематическую связь узлов, размещенных перт?ендикулярно дру - к другу первo ьЗ 6

Формула изобретения

Составитель Л.Лобзова

Техред А, Кравчук Корректор Т,Палий

Редактор Е.Копча

Заказ 1511 Тираж 394 Подписное Л

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

5 16492 го и второго.гониометров, т.е. между столиками 5 и 6 синхронно изменяются, углы падения (р, оставаясь равными по величине при непрерывном их изме5 ненни в процессе выбора оятимал1ного значения этого угла для осуществления. контроля с наивысшей доверительной вероятностью доводки параметров рельефа поверхности контролируемой детали 11 к соответствующим параметрам эталонной детали 10.

Использование предлагаемого устройства позволяет повысить производительность и тОчнОсть кОнтрОля с Вы» 15 сокой доверительной вероятностью доводки параметров контролируемой детали к параметрам поверхности эталонной детали на основе нулевого метода регистрации полезного сигнала, мо- 20 дулированного по частоте, в условиях массового производства таких деталей и не требует специальной подготовки дпя операторов, производящих контроль.

Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности плоских деталей, содержащее источник излучения, установленные по ходу излучения модулятор, поляризатор, два плоских зеркала, два гониометра, каждый иэ которых включает столик, и фотоприемник, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения точности и производительности контроля, оно снабжено анализатором, установленным по ходу излучения перед фотоприемником, а два плоских зеркала жестко соединены между собой, установлены между модулятором и поляризатором с воэможностью поворота вокруг оси первого гониометра и кинематически связаны со столиками обоих гониометров, а гониометры установлены так, что их оси взаимно перпендикулярны.

Способ определения распределения крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей // 1645811

Способ определения оптической анизотропии прозрачных образцов // 1640542

Способ определения функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности // 1635000

Устройство для контроля загрязненности оптической поверхности // 1634999

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности.при изготовлении и контроле ветровых стекол транспортных средств, а также в составе систем управления .очисткой этих стекол при движении от загрязнения и запотевания как снаружи, так и изнутри транспортного средства

Способ определения функции распределения микроплощадок по наклонам шероховатой плоской поверхности образца // 1633375

Изобретение относится к иямерительной технике и может быть зовано, в частности, для опредепения функции распределения микроплощадок шероховатых плоских поверхностей при обработке твердых тел

Дифференциальный оптический сканирующий микроскоп // 1629751

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам, позволяющим измерять рельеф поверхности, и может быть использовано для контроля качества обработки поверхности, контроля однородности тонких пленок, измерения толщины тонких пленок, исследования неоднородяостей показателя преломления

Устройство для контроля плоскостности поверхности деталей // 1627831

Изобретение относится к нзмерителыюй технике и предназначено для оптического контроля плоскостности

Фотометрический способ определения качества полировки оптических прозрачных деталей // 1627830

Оптическое устройство для измерения шероховатости поверхности // 1620832

Изобретение относится к измерительной текнике и предназначено для контроля качества обработки поверхности изделий

Устройство для определения качества поверхности // 2104480

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления // 2107893

Устройство для измерения шероховатости и волнистости поверхности при фиксированных значениях базовой длины // 2116616

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей // 2148790

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Способ контроля параметров наружной резьбы и устройство для его осуществления // 2151999

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Способ контроля параметров внутренней резьбы и устройство для его осуществления // 2152000

Способ детектирования положения линии сгиба на упаковочном полотне и устройство для его осуществления // 2153160

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Устройство для определения шероховатости поверхности // 2156437

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Устройство для контроля шероховатости поверхности изделия // 2156955

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия