Фритта для эмалевого покрытия по стали
Изобретение относится к области технологии силикатов и может быть использовано для создания изоляционных покрытий стальных подложек, применяемых в производстве гибридных интегральных схем. С целью снижения температуры начала размягчения и повышения водоустойчивости фритта для эмалевого покрытия по стали содержит, мас.%: SIO<SB POS="POST">2</SB> 10,71 - 20,27 AL<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 3,65 - 7,1 B<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 2,6 - 8,66 BAO 45,9 - 65,94 COO 0,6 - 1,00 V<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">5</SB> 0,2 - 0,8 CR<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 0,4 - 4,0 MNO 0,6 - 3,0 CDO 4,57 - 12,73 ZRO<SB POS="POST">2</SB> 0,1 - 6,0. Температура начала размягчения 620 - 660°С, температура обжига покрытия 740 - 760°С, температурный коэффициент линейного расширения (20 - 300°С) (97,5 - 122) <SP POS="POST">.</SP> 10<SP POS="POST">-7</SP> град<SP POS="POST">-1</SP>, удельное объемное сопротивление при 400°С 10<SP POS="POST">8</SP> Ом<SP POS="POST">.</SP>м, водоустойчивость - гидролитический класс. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (51)5 С 03 С 8/02
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГННТ СССР! (21) 4304341/29-33 (22) 1.09.87 (46) 30.01.90. Бюл. ¹ 4 (71 ) Белорусский технологический институт им. С.М. Кирова (72) H.M. Бобкова, M.Ï. Гласова и Е.С. Кашуба (53) 666.293 ° 52 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 476237, кл. С 03 С 3/093, 1972.
Авторское свидетельство СССР № 1310351, кл. С 03 С 8/02, 1985. (54) ФРИТТА ДЛЯ ЭМАЛЕВОГО ПОКРЫТИЯ
ПО СТАЛИ (57) Изобретение относится к области технологии силикатов и может быть использовано для создания изоляционИзобретение относится к техноло— гии силикатов и может быть использовано для создания изоляционных покрытий стальных подложек, применяемых в производстве гибридных интегральных схем.
Цель изобретения — снижение температуры начала размягчения и повьппение водоустойчивости.
Сырьевые материалы: кварцевый песок, глинозем, борная кислота, углекислый барий, оксид кобальта, пятиоксид ванадия, оксид хрома, углекислый кадмий, оксид марганца и цирконовый концентрат взвешивают на технических весах и тщательно перемешивают.
Готовую шихту засыпают в корундизовые тигли емкостью 0,2 л и помещают в газовую печь. Температура варки
1380+20 С.
ÄÄSUÄÄ 1539174
2 ных покрытий стальных подложек, применяеьпи в производстве гибридных интегральных схем. С целью снижения температуры начала размягчения и повышения водоустойчивости, фритта для эмалевого покрытия по стали содержит, мас.7: SiOg 10,71-20,27; Аl<0 з 3,657,1; В О э 2,6-8,66; ВаО 45,9-65,94;
СоО 0,6-1,00 V Ñ 0,2-0,8, Сг О
0,4-4,0; hh .О 0,6-3,0; С60 4,57-12,73
ЕгО 0,1-6,0. Температура начала раз- мягчения 620-660 С, температура обжига покрытия 740-760 С, температурный коэффициент линейного расширения (20300 C)(97,5-122) 10 град, удельо ное объемное сопротивление при 400 С Я
10 Ом м, водоустойчивость — гидролитический класс. 2 табл.Сваренную стекломассу выливают на )® воду для получения гранулята, который (П затем высушивают и размалывают в С4 планетарной мельнице Санд 1 в среде ц ) этилового спирта до удельной поверхности 6000-8000 см /г.
Измельченное стекло наносят на ьР пластины из нержавеющей стали марок 15Х25Т, 12Х18Н10Т методами трафаретной печати или же электрофоретического осаждения. В первом случае из него готовят пасту на органической ланолиновой связке, во втором — спиртовую суспензию.
Пластины с.нанесенным покрытием сушат на воздухе при 80-90 С в течение 0,5 ч. Вжигание пасты производят .в электрической конвейерной печи с максимальной температурой вжигания
1539174
Продолжение табл.2
Составы стекол
) Свойства
1 2 3
Удельное объемное сопротивление при
400 С Ом м
Диэл ек трическая проницаемость при f =
= 1,0 мГц
Степень,0Â 103
Таблиц а115
: Компоненты, мас.7.
7,6 7,4
7,8 чисто ты
SiO A1203
; В203
; ВаО
СоО . V„O
Cr <03
МпО
СЙО
ZrO
17,51
3,99
8,66
59,97
1,0
0,80,4:
3,0
4,57
0,1
20,27
7,1
2,6
45,9
0,6 25
0,2
4,0
0,6
12, 73
30 поверхности покрытия (класс чистоты )
Водоустойчивость (гидролитический класс,) 10,71
3,65 б,бб
65,94
0,8
0,6
0,8
1,0
8,74
1 1
П
Таблица 2
Составы стекол
1 2 1 3
Свойства
45
640 660
760 50
750
111 97,5
750-800 С (время нахождения в зоне максимальной температуры 0,5 ч).
В процессе обжига и охлаждения покрытие слабо кристаллизуется.
Изготовление образцов дпя определения физико-химических свойств осуществляется методом отливки в стальные формы. Отжиг образцов проводят при 600 С в течение 2 ч в электричес-1ð ,.кой муфельной печи.
Конкретные составы стекол приведе ны в табл.1.
Составы стекол
112)3
Свойства стекол-приведены в табл.2.
Темп ер а тура варки, ОС
Темп ер атура начала р аз мя r чения С 620
Температура обжига . покрытия
ОС 740
Темпер атурный ный коэффициент линейного расширения (?0-300 С) А«
«10 град -" 122
1350 1350 1380
Таким образом, из данных табл.2 видно, что данные стекла обладают пониженной температурой размягчения и повышенной водоустойчивостью.
Формула из обретения
Фритта для эмалевого покрытия по стали, включающая Si0, A1 0э, В ОЗ, ВаО, V O» Сг О, оксиды марганца и кобальта, о тличающ аяся тем, что, с целью снижения температуры начала размягчения и повышения водоустойчивости, она содержит в качестве оксидов марганца и кобальта
МпО и СоО и дополнительно CdO и Zr0 при следующем соотношении компонентов, мас.Е:
Si0g 10, 71-20, 27 1-т0 э 3,65-7, 10 во 2,60-8,66
ВаО 45,90-65,94 ч,о, О, 20-0,80
Cr<0 0,4-4,0
МпО 0,60-3,00
СоО 0,60-1,00
Cd0 4,57-12, 73
Zr0 0,10-6,00
