Устройство для получения нанодорожек на подложке

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для получения нанодорожек на подложке. В основу полезной модели положена задача уменьшить тепловой дрейф при формировании нанодорожек на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, что устройство для получения нанодорожек на подложке, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, снабжено связанными с торцом основного пьезопривода двумя дополнительными пьезоприводами, на каждом из которых закреплен зонд, между подложкой и подложкодержателем выполнена герметичная полость для жидкого азота, устройство дополнительно снабжено источником импульсного нагрева наружной поверхности подложки и источником рабочего газа для подачи газа в пространство между зондами. Предложенные усовершенствования устройства обеспечивают охлаждение подложки в момент осаждения на нее атомов рабочего газа, что и позволяет уменьшить тепловой дрейф при формировании нанодорожек на подложке.

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для получения нанодорожек на подложке.

Известно устройство для получения нанодорожек на подложке, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе [Патент РФ на ПМ №30032, кл 7 Н02N 2/00, 10.06.2003, Бюл. №16 (аналог)].

Недостатком аналога является наличие теплового дрейфа при формировании нанодорожек на подложке.

Наиболее близким по технической сущности достигаемому результату является устройство для получения нанодорожек на подложке, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе [Патент РФ на ПМ №36924, кл 7 Н02N 2/00, 27.03.2004, Бюл. №9 (прототип)].

Недостатком прототипа также является наличие теплового дрейфа при формировании нанодорожек на подложке.

В основу полезной модели положена задача уменьшить тепловой дрейф при формировании нанодорожек на подложке.

Поставленная техническая задача решается тем, что устройство для получения нанодорожек на подложке, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, снабжено связанными с торцом основного пьезопривода двумя дополнительными пьезоприводами, на каждом из которых закреплен зонд, между подложкой и подложкодержателем выполнена герметичная полость для жидкого азота, устройство дополнительно снабжено источником импульсного нагрева

наружной поверхности подложки и источником рабочего газа для подачи газа в пространство между зондами.

Введение в устройство для получения нанодорожек на подложке двух дополнительных пьезоприводов, связанных с торцем основного пьезопривода, на каждом из которых закреплен зонд, с возможностью подачи на зонды разности потенциалов , введение между подложкой и подложкодержателем герметичной полости, с возможностью подачи внутрь полости жидкого азота, а так же источника импульсного нагрева (ИИН) наружной поверхности подложки и источника рабочего газа (ИРГ), с возможностью подачи газа в пространство между зондами, обеспечивает охлаждение подложки в момент осаждения на нее атомов рабочего газа, что и позволяет уменьшить тепловой дрейф при формировании нанодорожек на подложке.

Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для получения нанодорожек на подложке.

Устройство для получения нанодорожек на подложке фиг.1 содержит неподвижное основание 1, связанный с ним основной пьезопривод 2, подложку 3, установленную на подложкодержателем 4. С торцом 5 основного пьезопривода 2 связаны два дополнительных пьезопривода 6, 7, на каждом из которых закреплен зонд, с возможностью подачи на зонды 8, 9, разности потенциалов , между подложкой 3 и подложкодержателем 4, выполнена герметичная полость 10, с возможностью подачи внутрь полости жидкого азота. Устройство снабжено источником импульсного нагрева 11 наружной поверхности (ИИН) 12 подложки 3 и источником рабочего газа (ИРГ) 13 с возможностью подачи газа в пространство между зондами 8, 9.

Устройство для получения нанодорожек на подложке работает следующим образом.

В пространство между зондами 8, 9 от источника 13 подается рабочий газ. От установки подачи жидкого азота (УПЖА) во внутрь герметичной полости 10 подается жидкий азот. При подаче рабочего напряжения между

зондами 8, 9 и подложкой 3, возникает ток. Происходит ионизация рабочего газа вследствие соударения его атомов с электронами и последующим осаждением на подложку 3. Источник импульсного нагрева 11 нагревает наружную поверхность 12 подложки 3, что приводит к повышению адгезионных свойств поверхности, а поданный в герметичную полость 10 жидкий азот, уменьшает тепловой дрейф в момент осадки.

Применение предлагаемого устройства для получения нанодорожек на подложке позволяет уменьшить тепловой дрейф осажденных атомов рабочего газа при формировании нанодорожек на подложке.

Устройство для получения нанодорожек на подложке, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе, отличающееся тем, устройство снабжено связанными с торцом основного пьезопривода двумя дополнительными пьезоприводами, на каждом из которых закреплен зонд, между подложкой и подложкодержателем выполнена герметичная полость для жидкого азота, устройство дополнительно снабжено источником импульсного нагрева наружной поверхности подложки и источником рабочего газа для подачи газа в пространство между зондами.