Устройство наноперемещения для атомно-силовой микроскопии
Полезная модель относится к области наноэлектроники, а более конкретно к устройствам наноперемещений для атомно-силовой микроскопии. В основу полезной модели положена задача - повысить производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии за счет значительного сокращения времени измерений.
Это задача решается тем, что устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии, содержащее пьезопривод, связанный с кантилевером, на котором закреплено острие, кантилевер связан с подложкой, установленной на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, снабжено, по крайней мере, одним дополнительным кантилевером, связанным с пьезоприводом, на пьезоприводе закреплена штанга, на которой установлен, по крайней мере, один источник лазерного излучения, на каждом из кантилеверов закреплена нанопластина с возможностью хроматического взаимодействия с лучом лазера. При этом количество источников лазерного излучения соответствует количеству кантилеверов.
Введение в устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии пьезопривода, кантилевера, на котором закреплено острие, источников лазерного излучения, дополнительных кантилеверов и нанопластин, на каждом из кантилеверов позволяет значительно сократить время измерений и воспроизведения аналитических операций, за счет чего повысить производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии.
Полезная модель относится к области наноэлектроники, а более конкретно к устройствам наноперемещений для атомно-силовой микроскопии.
Известно устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии, содержащее пьезопривод, связанный с кантилевером, на котором закреплено острие, кантилевер в свою очередь связан с подложкой, установленной на подложкодержателе. [Авторское свидетельство СССР №1713065, кл. Н02L 41//09, 1991 (аналог)]
Недостатком аналога является низкая производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии, содержащее пьезопривод, связанный с кантилевером, на котором закреплено острие, кантилевер в свою очередь связан с подложкой, установленной на подложкодержателе. [Биннинг Г., Рорер Г., Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, вып.2 - М.: Наука, 1988 - с.261-278 (прототип)]
Недостатком прототипа также является низкая производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии.
В основу полезной модели положена задача - повысить производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии за счет значительного сокращения времени измерений.
Это задача решается тем, что устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии, содержащее пьезопривод, связанный с
кантилевером, на котором закреплено острие, кантилевер связан с подложкой, установленной на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, снабжено, по крайней мере, одним дополнительным кантилевером, связанным с пьезоприводом, на пьезоприводе закреплена штанга, на которой установлен, по крайней мере, один источник лазерного излучения, на каждом из кантилеверов закреплена нанопластина с возможностью хроматического взаимодействия с лучом лазера. При этом количество источников лазерного излучения соответствует количеству кантилеверов.
Введение в устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии пьезопривода, кантилевера, на котором закреплено острие, источников лазерного излучения, дополнительных кантилеверов и нанопластин, на каждом из кантилеверов позволяет значительно сократить время воспроизведения аналитических операций, за счет чего повысить производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии.
Сущность полезной модели поясняется чертежами, где на фиг.1 изображено устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии (вид спереди), на фиг.2 изображено устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии - вид (вид сбоку).
Устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии (фиг.1 и фиг.2) содержит пьезопривод 1, связанный с кантилевером 2, на котором закреплено острие 3, подложку 4, установленную на подложкодержателе 5, штангу 6, на которой установлены источники лазерного излучения 7, нанопластины 8.
Устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии работает следующим образом.
Перед выполнением нанотехнологической операции пьезопривод 1 находится в неподвижном состоянии, при этом угол падения луча от источника лазерного излучения 7 равен нулю. При подаче напряжения на
пьезопривод 1 происходит взаимодействия острия 3 с подложкой 4, при этом кантилевер 2 изгибается вместе с нанопластиной 8, изменяется угол падения-отражения на нанопластину 8 луча света от источника лазерного излучения 7. По величине угла отражения судят о величине деформации кантилевера 2. Описанный выше процесс повторяется для остальных кантилеверов 2 аналогично. Число кантилеверов может достигать 1024 и более.
Применение предлагаемого устройства наноперемещений для атомно-силовой микроскопии позволяет повысить производительность труда в процессе анализа поверхности в атомно-силовой микроскопии.
1. Устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии, содержащее пьезопривод, связанный с кантилевером, на котором закреплено острие, кантилевер связан с подложкой, установленной на подложкодержателе, отличающееся тем, что устройство снабжено, по крайней мере, одним дополнительным кантилевером, связанным с пьезоприводом, на пьезоприводе закреплена штанга на которой установлен, по крайней мере, один источник лазерного излучения, на каждом из кантилеверов закреплена нанопластина с возможностью хроматического взаимодействия с лучом лазера.
2. Устройство наноперемещений для атомно-силовой микроскопии по п.1, отличающееся тем, что количество источников лазерного излучения соответствует количеству кантилеверов.
