Устройство для выполнения нанотехнологических операций

Полезная модель может быть использована в машиностроении для выполнения нанотехнологических операций. Устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержит неподвижное основание (1) и установленные на нем подложкодержатель (2) для размещения подложки (3) и пьезопривод (4) с зондом (5), электрически связанным с подложкой (3). Для проведения прецизионных нанотехнологических операций формирования сверхчистого нанорисунка устройство снабжено источником регулируемого технологического напряжения (ИРТН, 6) между зондом (5) и подложкой (3). Для обеспечения электрической связи зонда (5) с подложкой (3) и проведения нанотехнологических операций формирования сверхчистого нанорисунка в жидкой среде подложкодержатель (2) выполнен в виде металлической гальванической ванны, заполненной электролитом (7). Таким образом, устройство позволяет формировать сверхчистый нанорисунок в жидкой среде. 1 ил.

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения нанотехнологических операций.

Известно устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижное основание и установленные на нем подложкодержатель для размещения подложки и пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой [Марголин В.И. Основы нанотехнологии. - Учебное пособие // СПб.: СПБГЭТУ «ЛЭТИ», 2000. - 56 с., ил. (аналог)].

Недостатком аналога является невозможность формирования сверхчистого нанорисунка в жидкой среде.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижное основание и установленные на нем подложкодержатель для размещения подложки и пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ, 2000. - 69 с., ил. (прототип)].

Недостатком прототипа также является невозможность формирования сверхчистого нанорисунка в жидкой среде.

Целью полезной модели является обеспечение возможности формирования сверхчистого нанорисунка в жидкой среде.

Технический результат выражается в обеспечении выполнения нанотехнологических операций в жидкой среде.

Поставленная задача достигается тем, что устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижное основание и установленные на нем подложкодержатель для размещения подложки и пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено источником регулируемого технологического напряжения между зондом и подложкой, а подложкодержатель выполнен в виде металлической гальванической ванны, заполненной электролитом.

Введение в устройство для выполнения нанотехнологических операций источника регулируемого технологического напряжения между зондом и подложкой позволяют проводить прецизионные нанотехнологические операции формирования сверхчистого нанорисунка.

Выполнение подложкодержателя в виде металлической гальванической ванны, заполненной электролитом, обеспечивает электрическую связь зонда с подложкой для проведения нанотехнологических операций по формированию сверхчистого нанорисунка в жидкой среде.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где изображено устройство для выполнения нанотехнологических операций.

Устройство для выполнения нанотехнологических операций (фиг.1), содержит неподвижное основание 1 и установленные на нем подложкодержатель 2 для размещения подложки 3 и пьезопривод 4, на торце которого закреплен зонд 5, электрически связанный с подложкой 3, отличающееся тем, что устройство дополнительно снабжено источником регулируемого технологического напряжения (ИРТН) 6 между зондом 5 и подложкой 3, а подложкодержатель 2 выполнен в виде металлической гальванической ванны, заполненной электролитом 7.

Устройство для выполнения нанотехнологических операций (фиг.1) работает следующим образом.

Ионы в растворе электролита 7, например, CuSO₄, как и молекулы, движутся хаотически. При включении источником регулируемого технологического напряжения (ИРТН) 6 между зондом 5 и подложкодержателем 2 возникает направленное движение заряженных ионов. Положительные ионы движутся к отрицательному электроду - катоду, отрицательные ионы - к положительному электроду - аноду, поэтому при положительном заряде зонда 5 положительные ионы Сu²⁺ движутся к подложке 3, превращаются в молекулу Сu, и таким образом на подложке 3 формируются квантовые точки, расположение которых зависит от траектории зонда 5, закрепленного на торце пьезопривода 4.

Применение предложенного устройства для выполнения нанотехнологических операций позволяет формировать сверхчистый нанорисунок в жидкой среде.

Устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижное основание и установленные на нем подложкодержатель для размещения подложки и пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой, отличающееся тем, что устройство дополнительно снабжено источником регулируемого технологического напряжения между зондом и подложкой, а подложкодержатель выполнен в виде металлической гальванической ванны, заполненной электролитом.