Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования (варианты)

Полезная модель относится к машиностроению, в частности, к электронному машиностроению, а более конкретно к магнитным зубчатым передачам, предназначенным для работы в вакуумном технологическом оборудовании. В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в упрощении конструкции магнитной зубчатой передачи для вакуумного технологического оборудования при передаче вращения при параллельных и перпендикулярных осях, а также создание зубчато-реечной передачи. Согласно предложенной полезной модели ведомый элемент выполнен в трех вариантах: в виде диска, на наружной поверхности которого герметично закреплена упругая пленка; в виде диска, на торцевой поверхности которого герметично закреплена упругая пленка; в виде планки, на поверхности которой закреплена упругая пленка, а полости между пленкой и соответствующими поверхностями дисков или планки заполнены магнитной жидкостью. Предлагаемая магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования отличается простотой конструкции и позволяет передавать вращение при параллельных и перпендикулярных осях и реализовывать поступательное движение в зубчато-реечной передаче. При работе устройства с магнитным взаимодействием не происходит генерации загрязняющих микрочастиц износа, являющихся определяющими при создании вакуумного технологического оборудования электронной техники.

Полезная модель относится к машиностроению, в частности, электронному машиностроению, а более конкретно к магнитным зубчатым передачам предназначенным для работы в вакуумном технологическом оборудовании.

Известна магнитная зубчатая передача, содержащая зубчатые шестерню и колесо, выполненные в виде постоянных магнитов и установленные на ведущем и ведомом валах соответственно [Авторское свидетельство СССР 533777, МПК F16H 1/06, 1976 (аналог)].

Недостатком аналога является сложность конструкции и невозможность передачи вращения при параллельных и перпендикулярных осях, а также невозможность создания зубчато-реечной передачи.

Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является конструкция магнитной зубчатой передачи для вакуумного технологического оборудования, содержащая зубчатые шестерню и колесо, выполненные в виде постоянных магнитов и установленные на ведущем и ведомом валах соответственно, зубья шестерни и колеса образованы гофрированной лентой, полость которых заполнена порошком [Авторское свидетельство СССР 1272031, МПК F16H 1/06, 1986 (прототип)].

Недостатком прототипа является сложность конструкции, невозможность передачи вращения при параллельных и перпендикулярных осях, а также невозможность создания зубчато-реечной передачи.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в упрощении конструкции магнитной зубчатой передачи для вакуумного технологического оборудования при передаче вращения при параллельных и перпендикулярных осях, а также создание зубчато-реечной передачи.

Поставленная техническая задача решается тем, что, в магнитной зубчатой передаче для вакуумного технологического оборудования по первому варианту выполнения, содержащей ведущий элемент, выполненный в виде постоянного магнита, и ведомый элемент, согласно предложенной полезной модели, ведомый элемент выполнен в виде диска, на наружной поверхности которого герметично закреплена упругая пленка, полость между пленкой и наружной поверхностью диска заполнена магнитной жидкостью.

Поставленная техническая задача решается тем, что, в магнитной зубчатой передаче для вакуумного технологического оборудования по второму варианту выполнения, содержащей ведущий элемент, выполненный в виде постоянного магнита, и ведомый элемент, согласно предложенной полезной модели, ведомый элемент выполнен в виде диска, на торцевой поверхности которого герметично закреплена упругая пленка, полость между пленкой и торцевой поверхностью диска заполнена магнитной жидкостью.

Поставленная техническая задача решается тем, что, в магнитной зубчатой передаче для вакуумного технологического оборудования по третьему варианту выполнения, содержащей ведущий элемент, выполненный в виде постоянного магнита, и ведомый элемент, согласно предложенной полезной модели, ведомый элемент выполнен в виде планки, на поверхности планки, обращенной к ведущему элементу, герметично закреплена упругая пленка, полость между пленкой и поверхностью планки заполнена магнитной жидкостью.

Введение в магнитную зубчатую передачу для вакуумного технологического оборудования ведомого элемента, выполненного в виде диска или планки с закрепленными на них упругими пленками, а также введение магнитной жидкости придает устройству новые свойства - на ведомом элементе отсутствует зубчатые венец, что позволяет упростить конструкцию устройства при передаче вращения при параллельных и перпендикулярных осях, а также обеспечить создание зубчато-реечной передачи.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1, 2, 3.

На фиг.1 показана магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования по первому варианты выполнения, предназначенная для работы при параллельных осях.

На фиг.2 показана магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования по второму варианты выполнения, предназначенная для работы при перпендикулярных осях.

На фиг.3 показана магнитная зубчато-реечная передача по третьему варианты выполнения.

Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования содержит ведущий элемент 1 (фиг.1, 2, 3), выполненный в виде постоянного магнита с зубцами 2, ведомый элемент, выполненный в виде диска (позиция 3 на фиг.1 или позиция 4 на фиг.2) или планки 5 (фиг.3).

По первому варианту выполнения магнитной зубчатой передачи на наружной поверхности 6 диска 3 (фиг.1) герметично закреплена упругая пленка 7, а полость 8 между пленкой 7 и наружной поверхностью 6 диска 3 заполнена магнитной жидкостью 9.

По второму варианту выполнения магнитной зубчатой передачи на торцевой поверхности 10 диска 4 (фиг.2) герметично закреплена упругая пленка 11, а полость 12 между пленкой 11 и торцевой поверхностью 10 диска 4 заполнена магнитной жидкостью 13.

По третьему варианту выполнения магнитной зубчатой передачи на поверхности 14 планки 5 (фиг.3), обращенной к ведущему элементу 1 герметично закреплена упругая пленка 15, а полость 16 между пленкой 15 и поверхностью 14 планки 5 заполнена магнитной жидкостью 17.

В качестве магнитной жидкости могут быть использованы смеси FN-40, FL-40 и др. [Уплотнения и уплотнительная техника: Справочник / Л.А.Кондаков, А.И.Голубев, Б.В.Овандер и др. Под общ. ред. А.И.Голубева, Л.А.Кондакова. - М.: Машиностроение, 1986. - 464 с., ил., С.402].

Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования работает следующим образом.

В результате магнитного взаимодействия зубцов 2 ведущего элемента 1 и магнитных жидкостей 9, 13, 17, на упругих пленках 7, 11, 15 образуются выпуклости (аналоги зубцов на ведомом элементе), которые взаимодействуют с зубцами 2 ведущего элемента 1 и передают вращение при параллельных (фиг.1) и перпендикулярных осях (фиг.2), а также передают поступательное движение планке 5 (фиг.3).

Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования может также работать и в режиме вариатора, для чего необходимо изменять положение ведущего элемента 1 относительно диска 4, как показано стрелками на фиг.2.

Предлагаемая магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования отличается простотой конструкции и позволяет передавать вращение при параллельных и перпендикулярных осях и реализовывать поступательное движение в зубчато-реечной передаче. При работе устройства с магнитным взаимодействием не происходит генерации загрязняющих микрочастиц износа, являющихся определяющими при создании вакуумного технологического оборудования электронной техники.

1. Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования, содержащая ведущий элемент, выполненный в виде постоянного магнита, и ведомый элемент, отличающаяся тем, что ведомый элемент выполнен в виде диска, на наружной поверхности которого герметично закреплена упругая пленка, полость между пленкой и наружной поверхностью диска заполнена магнитной жидкостью.

2. Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования, содержащая ведущий элемент, выполненный в виде постоянного магнита, и ведомый элемент, отличающаяся тем, что ведомый элемент выполнен в виде диска, на торцевой поверхности которого герметично закреплена упругая пленка, полость между пленкой и торцевой поверхностью диска заполнена магнитной жидкостью.

3. Магнитная зубчатая передача для вакуумного технологического оборудования, содержащая ведущий элемент, выполненный в виде постоянного магнита, и ведомый элемент, отличающаяся тем, что ведомый элемент выполнен в виде планки, на поверхности планки, обращенной к ведущему элементу, герметично закреплена упругая пленка, полость между пленкой и поверхностью планки заполнена магнитной жидкостью.