Система перемещений

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к системам перемещений. В основу полезной модели положена задача повысить точность системы перемещений. Согласно предложенной модели в пьезокерамических дисках и металлических пластинах выполнены осевые отверстия, образующие полости, а в первом и последнем пьезокерамических дисках выполнены входное, выходное радиальные отверстия и соединительные отверстия, система дополнительно снабжена устройством подачи хладоагента в полости пьезопривода. Применение предлагаемой системы перемещений позволяет увеличить точность перемещения пьезопривода за счет охлаждения пьезокерамических дисков и уменьшения их произвольных перемещений.

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к системам перемещений.

Известно система перемещений, содержащая пьезопривод выполненный в виде пьезокерамических дисков, между которыми располагаются металлические пластины для подачи на них рабочего напряжения, зонд, жестко связанный с пьезоприводом [Патент РФ на ПМ 43105, кл.7 Н01L 41/00, 27.12.2004. Бюл. 36 (аналог)].

Недостатком аналога является низкая точность системы перемещений.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является система перемещений, содержащая пьезопривод выполненный в виде пьезокерамических дисков, между которыми располагаются металлические пластины для подачи на них рабочего напряжения, зонд, жестко связанный с пьезоприводом [Патент РФ на ПМ 43111, кл.7 Н02N 2/00, 27.12.2004. Бюл. 36 (прототип)].

Недостатком прототипа также является низкая точность системы перемещений.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы повысить точность системы перемещений.

Поставленная техническая задача решается тем, что в системе перемещений, содержащей пьезопривод, выполненный в виде пьезокерамических дисков, между которыми располагаются металлические пластины для подачи на них рабочего напряжения, зонд, жестко связанный с пьезоприводом, согласно предложенной полезной модели, в пьезокерамических дисках и металлических пластинах выполнены осевые отверстия, образующие полости, а в первом и последнем пьезокерамических дисках выполнены входное, выходное радиальные отверстия и соединительные отверстия, система дополнительно снабжена устройством подачи хладоагента в полости пьезопривода.

Введение в систему перемещений осевых отверстий в пьезокерамических дисках и металлических пластинах, входного и выходного радиальных отверстий выполненных в первом и последнем пьезокерамических дисках, соединительных отверстий, а также устройства подачи хладоагента в полости пьезопривода обеспечивает охлаждение пьезопривода во время работы, тем самым стабилизируя температуру пьезокерамических дисков, что уменьшает произвольные перемещения пьезопривода, вызываемые его нагревом в процессе проведения технологических операций, что и позволяет повысить точность перемещения пьезопривода.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показана система перемещений.

Система перемещений содержит пьезопривод 1, выполненный в виде пьезокерамических дисков 2, между которыми расположены металлические пластины 3, зонд 4, жестко связанный с пьезоприводом 1. В пьезокерамических дисках 2 и металлических пластинах 3 выполнены осевые отверстия 5, образующие полости 6, 7, 8, а в первом 9 и последнем 10 пьезокерамических дисках 2 выполнены входное 11, выходное 12 радиальные отверстия и соединительные отверстия 13. Система дополнительно снабжена устройством 14 подачи хладоагента 15 в полости пьезопривода 1. В качестве хладоагента может использоваться жидкий гелий или азот.

Система перемещений работает следующим образом.

При подаче на металлические пластины 3 рабочего напряжения пьезопривод 1 начинает перемещать зонд 4. При работе пьезопривода 1, из устройства 14 подачи хладоагента 15, через входное радиальное отверстие 11 хладоагент 15 поступает в первый пьезокерамический диск 9, а затем через осевые отверстия 5, полости 6, 7, 8 и соединительные отверстия 13 хладоагент 15 перемещается по пьезоприводу 1. Через выходное радиальное отверстие 12 хладоагент 15 из пьезопривода 1 поступает обратно в устройство подачи хладоагента 14. Таким образом осуществляется охлаждение пьезопривода 1, что повышает точность его перемещения.

Применение предлагаемой системы перемещений позволяет увеличить точность перемещения пьезопривода за счет охлаждения пьезокерамических дисков и уменьшения их произвольных перемещений.

Система перемещений, содержащая пьезопривод, выполненный в виде пьезокерамических дисков, между которыми располагаются металлические пластины для подачи на них рабочего напряжения, зонд, жестко связанный с пьезоприводом, отличающаяся тем, что в пьезокерамических дисках и металлических пластинах выполнены осевые отверстия, образующие полости, а в первом и последнем пьезокерамических дисках выполнены входное, выходное радиальные отверстия и соединительные отверстия, система дополнительно снабжена устройством подачи хладоагента в полости пьезопривода.