Электролит для осаждения покрытий из сплава германий-никель
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное -к авт. сеид-ву(22) Заявлено 171280 (21) 3218789/22-02 (51) М. Кд.з
С 25 0 3/56 с.присоединением заявки №
Государственный комитет
СССР оо делам изобретений н открытий (23) Приоритет
Опубликовано 15.09.82. Бюллетень ¹ 34
Дата опубликования описания 150982
t$3) УДК 621. 357. .7:669.783 24(088.8) (72) Авторы изобретения
Л.Н. Возмилова и Н.В. Карпович (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
ИЗ СПЛАВА ГЕРМАНИЙ-НИКЕЛЬ
Стабильность электролита составЗО ляет 2-6 A.÷/ë.
Изобретение относится к гальваностегии, в частности к электролитическому осаждению покрытий из сплава германий — никель в контактные окна, вскрытые в слое фоторезиста, и может . быть использовано для.изготовления омических контактов к полупроводни- ковым приборам.
Известны электролиты для осаждения покрытий из сплава германий-никель, содержащие соединения соосаждаемых металлов и комплексообразователи: щавелевокислый аммоиий и гидроокись аммония 1.1 и (2g..
Однако известные электролиты не пригодны для осаждения сплава германий †. никель в контактные окна для полупроводниковых приборов, так как фоторезист, используемый в качестве маскирующего покрытия, разрушается в щелочных растворах.
Наиболее близким к изобретению является известный электролит для осаждения покрытий из сплава германийникель, содержащий германат натрия, сульфат никеля и серную кислоту 1.3j,.
Однако из этого электролита одновременйо с осаждением покрытия германий — никель происходит выделение водорода. Пузырьки водорода закрйвают часть поверхности контактного окна, а в случае маленьких окон (Ф2-5мкм)всю поверхность окна, что приводит к получению серых матовых неравномер,ных покрытий.
Целью изобретения является получение равномерных блестящих покрытий в контактных окнах полупроводникоВых приборов.
Поставленная цель достигается тем, что -электролит, содержащий сульфат никеля и соединение германия, дополнительно содержит винную кислоту и калий-натрий виннокислый, а в качестве соединения германия - двуокись германия, при следующем соотношении компонентов, г/л:
Двуокись германия 10-30 Сульфат никеля 5-15
Калий-натрий виннокислый 20-150
Винная кислота 6-16
Процесс осаждения рекомендуют проводить при рН= 7,1-7,5, комнатной температуре и плотности тока 0,11,0 A/äì в течение 1-30 мин с использованием платинового анода.
958507
Состав электролита., г/л, режим и результаты осаждения
Пример, Ф
Двуокись германия
Никель сернокислый
20
30
Калий-натрий виннокислый
70
150
150
Винная кислота
16
Плотность тока, А/дм .
0,1
0 5
0,1
1,0
Толщина покрытия, мкм
0„4
0,1
0,2
Продолжительность, мин
15
Содержание германия в сплаве,Ъ
40 3
40+3
40+3
4013
Выход по току, Ъ
100
100
100
100
Внешний вид покрытия блестящее, светло-желтбго цвета, равномерио покрывает поверхность контактных окон, фоторезист остается без изменения, не разрушается, выделения пузырьков водорода на катоде не. наблюдается
Осаждение ведут на пластины арсенида галлия с активными структурами, на которых методом фотолитографии в слое фоторезиста вскрывают контактные окна.
Верхний предел концентрации дву- 5 окиси германия (30 г/л) ограничен ее растворимостью, а нижйий предел (10 г/л) ограничен качеством осадка. При содержании двуокиси германия в электролите ниже 10 г/л осадок 1Q
Ъ
Таким образом, предлагаемое изоб.— ретение позволяет получать блестящие равномерные покрытия сплавом германий — никель в контактных окнах иолу-. роводниковых приборов,.что приводит в целом к повышению процента выхода годных изделий.
Формула изобретения
Электролит для осаждения покрытий ,из сплава германий - никель, содержащий сульфат никеля и соединение rep- 55 мания, отличающийся тем, что, с целью получения равномерных блестящих покрытий в контактных окнах полупроводниковых приборов, .он дополнительно содержит винную кисло- Я) ту и калий-натрий виннокислый, а в качестве соединения германия -двуокись
ВНИКНИ Заказ 6987/37
Филиал ППП "Патент", r. получается не блестящий; и с темными пятнами.
Качество получаемых осадков определяется визуально - отсутствие пятен, питтинга на поверхности покрытия, выделение водорода на катоде.
Переходное сопротивление составляет
10 10 Ом.см.
Изобретение иллюстрируется несколькими примерами, представленными в таблице. германия при следующем соотношении компонентов, г/л:
Двуокись германия . 10-30
Сульфат никеля 5-15 .Калий-натрий виннокислый 20-150
Винная кислота 6-16
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Танаев И.В., Шпирт И;Я. Химия германия. И.",Химия",1967 с.379, 387.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 183003, кл. С 25 0 3/56 1963.
3. Глубокова Т.Н. и др. Получение сплавов германия с металлами группы железа электролизом сернокислых растворов.-"Электрохимия". T. 8, 1972, 9 2, с. 307-310.
Тираж 686 Подписное
Ужгород, ул.Проектная,4
