Устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок

ОПИСАНИЕ

H305PETEHN$I 871353

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Сееетскня

Соцнаектнчесннк

Реснублнн (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 16. 11. 67 (21) 1197384/18-21 (Sf)M с присоединением заявки HP (23) Прморитет

Н 05. К 3/14

Государствеммым комитет

СССР по делам мзобретеммм м откритмм

Опубликовано 07д0,81, бюллетень Н9 37

Дата опубликования описания 07. 10. 81 (533 УДК 539. 239. .002.5 (088. 8) (72) Автор мзобретеимя

Ф.А, Коледа (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО СОВМЕЩЕНИЯ МАСОК И ПОДЛОЖЕК

ДНЯ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к микроэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных блоков микроэлектроники.

Известно устройство совмещения масок и подложек, содержащее держатели масок н подложек g1).

Это устройство работает с недостаточной очностью.

Известно также устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок изготовления тонкопленочных блоков микроэлектроники, содержащее неподвижный диск с держателями масок и подвижйый диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически .связанные с подвижным диском (2 ).

У этого устройства тот же недостаток.

ЦЕль изобретения — повышение точности совмещения масок и подложек.

Укаэанная цель достигается тем, что.в устройстве совмещения масок и подложек для напылительных установок, содержащее неподвижный диск с;держателями масок и подвижный диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически связанные с подвижным диском, держатели ма- сок выполнены в виде подвижных рамок с возможностью перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, расположенных в плоскости, параллельной держателям подложек, которые снабжены упорами, взаимодействующими с рамками.

На фиг. 1 изображен продольный разрез устройства; на фиг. 2 - вид сверху на держатель маски.

Устройство содержит неподвижный 1 и подвижный 2 диски, на которых установлены держатель 3 для маски 4 и держатель 5 для подложки 6.Диск 2 установлен на валу 7 с возможностью вращения посредством зубчатой передачи 8, связанной с вакуумным вводом

9. Он может также перемещаться по вертикали с помощьв вакуумного ввода 10.

Держатель З.выполнен в виде подвижной рамки, установленной на неподвижном диске 1 с воэможностью взаимно перпендикулярного перемеще30 ния.

871353

Штифты 11 и отверстия 12 предназначены для предварительного совмещения дисков 1 и 2.

Толкатель 13 снабжен роликом 14,а подвижный диск 2 имеет наклонную плоскую пружину 15, предназначенную для перемещения толкателя 13 в радиальном направлении вдоль диска 1 при опускании диска 2. Упоры 16 и кромки 17 держателя 3 предназначены для окончательного точного совмещения маски 4 с подложкой 6.

При помощи шариков 18 и пружин

19 держатель 3 подвижно связан с толкателем 13. В исходном положении толкатели прижаты к штифтам 20 плоскими пружинами 21.

Устройство работает следующим образом.

При опускании диска 2 с помощью вакуумного ввода 10 штифты 11 заходят в отверстия 12 диска 1. При этом происходит предварительное совмещение дисков, При дальнейшем опускании диска 2 пружина 15, воздействуя на ролики 14, перемещает толкатель 13, а вместе с ним и держатель 3 с маской 4, в радиальном направлении до "контакта кромок 17 с упорами 16. При этом осуществляется точное совмещение масок 4 с подложками 6 эа счет возможности дополнительного перемещения держателя 3 в перпендикулярном направлении по шарикам 18.

При-подъеме диска 2 процесс идет в обратной последовательности, а диск 2 может быть повернут с помощью вакуумного ввода 9 и зубчатой передачи 8 для последующей обработки подложки 6.

Использование данного изобретения обеспечивает возможность точного совмещения масок и подложек при напылении тонких пленок на подложки различных деталей микроэлектронной техники.

Формула изобретения

Устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок, содержащее неподвижный диск с держа15 телями масок и подвижный диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически связанные с подвижным диском, о т л и ч а ю щ еЩ е с я тем, что, с целью повышения точности совмещения, держатели масок выполнены в виде подвижных рамок с воэможностью перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, расположенных в плоскости, параллельной держателям подложек, которые снабжены упорами, взаимодействующими с подвижными рамками.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 486497, кл. Н 05 К.З/14, 1965.

2. Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок, И.,"Энергия, 1967, с. 267-289 (прототип).

871353

uz.2 в

Составитель Е. Графольский

Техред Т.Маточка Корректор Н. Стец

Редактор Б. Федотов

Заказ 8489/31

Тираж 892 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, X-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4