Патент ссср 306595
Союз Советских
Социалистических
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
306595
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 13.Х.1969 (№ 1367301/26-9) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 1I.V1.1971. Бюллетень ¹ 19
Дата опубликовашгя описания 19Х11.1971
МПК Н 05k 3/14
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 539.231.002.5 (088.8) Авторы изобретения
А. А. Алексеюнас, А. А. Рибикаускас и В. Б. Толутис
Институт физики полупроводников АН Литовской ССЧ
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЖНЫХ МИКРОСХЕМ
Известен способ получения сложных микросхем с применением проволочной сетки и набора масок.
Цель изобретения — расширение диапазона структур сложной конфигурации.
Для этого, согласно предложенному способу, на проволочную сетку накладывают дополнительную сетку, смещенную под углом к первой, и осуществляют процесс осаждения.
На чертеже изображено устройство для осуществления предложенного способа.
Устройство содержит сетки 1, 2, состоящие из пучков натянутых, строго параллельных, лежащих в одной плоскости проволочек, и маску 8. Сетка 2 наложена на сетку 1 под углом а.
Осажденный слой имеет вид ромбиков 4, соединенных полосками 5 в группы-площадки б сложной конфигурации. Между площадками имеется зазор — пилообразная линия 7, длина которой равна где 1 — длина пилообразной линии между площадками;
1 — длина площадок; а — угол между пересекающимися сетками.
При постоянной длине площадок в зависимости от угла пересечения сеток длина пило. образной линии может превышать длину площадок на порядок и больше, что соответствует уменьшению сопротивления между площадками на порядок и больше.
Предлагаемый способ получения сложных
10 микросхем позволяет в строгом геометрическом порядке покрывать большие площади.
Пилообразная линия зазора по сравнению с прямой линией зазора между площадками намного увеличивает рабочую длину зазора, что
15 позволяет уменьшать длину площадок, т. е. занимаемую ими площадь.
Предмет изобретения
2Q Способ пол ения сложных микросхем, основанный на осаждении пленок через проволочную сетку и набор масок, отличхющийся тем, что, с целью расширения диапазона структур сложной конфигурации, на прово25 лочную сетку накладывают дополнительную сетку, смещенную под углом к первой, и oc)"ществляют процесс осаждения.
306595
Составитель А. Мерман
Тсхрсд Л. Я. Левина
Корректор Г. С. Мухина
Реда ктор Т. 3. Орловская
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1966/3 Изд. № 846 Тираж 473 Подписное
Ц1-1ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4(5
