Измеритель потока разреженного газа

о и и с-- . е

Союз Соватских

Соцмалмстицвсевех

Республик (»)611114

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К AITOP СКОМУ СВИДИТВЙЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт; свил-ву яр453575 (22) Заявлено 27,01,77 (21) 2447011/18-1 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.06.78. Бюллетень № 22 (51) М. Кл

G 01 F 1/34

Гппудхрствееню кпевтет

Спвета Меееетрпп СССР пп делам хэайретеае х пткрмтаю (53) УЙК 681.121.8 (088.8) (45) Дата опубликования описания 25.05.78 (72) Авторы изобретения

E. Ф. Комаров и E А. Пенчко (71) Заявитель (54) ИЗМЕРИТЕЛЬ ПОТОКА РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА (Z) « =60, Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен измеритель потока разреженного газа %453575, основанный на модуляции потока газа и содержащий корпус с 5 размещенными в нем модулирующей заслонкой и манометрическим преобразователем и измерительный прибор.

Это устройство позволяет с высокой точностью измерять величину потока Q раэре- 10 женного газа, но не позволяет измерять скорость откачки разреженного газа.

Целью изобретения является обеспече« ние возможности измерения скорости откачки разреженного газа. 15

Это достигается тем, что предлагаемый измеритель снабжен логарифмируюшим устройством, вход которого подключен к манометрическому преобразователю, а выход через конденсатор — к измерительному прибору, 20

На чертеже представлена принципиальная схема описываемого устройства.

В корпусе 1 устройства установлены модулятор 2 потока (эаслонка) и манометрический преобразователь 3. цепь выходного сигнала манометрического преобразователя 3 соединена с логарифмируюшим ус ройством 4, выход которого подключен к измерительному прибору 5, например вольтметру, через конденсатор 6.

Выходной сигнал манометрического преобразователя З,установленного в корпусе 1, состоит иэ двух составляюших: постоянной, пропорциональной давлению P в зоне измерения скорости откачки:

1,=<Р (1) и переменной, пропорциональной потоку разреженного газа: где К и т, -- постоянные коэффициенты.

Сигнал давления с выхода манометрического преобразователя 3 подается íà вход логарифмнруюшего устройства 4. Переменная.составляющая, выделенная с выхода логарифмируюшего устройства 4 конденсатором

6 и измеренная прибором 5, пропорциональ на скорости откачки разреженного газа в (,сечении установки модулятора 2 потока.

611114

Иействительно,. при логарифмировании суммарного сигнала имеем:

e„-(x.iz)=e х. (+ -)-е„|. å, (+ -)ф)

Исходя иэ практических соображений, целе-5 сообразно проводить частичную модуляцию потока, такую, чтобы коэффициент модуляции.

fl7 * а

1О был не более.0 1. При выполнении этого условия скорость откачки системы практически не снижается. Тогда логарифм второго слагаемого выражения (3) может быть аппроксимирован:

15 ь Г

На выходе логарифмирующего устройства

4 имеем е Î. 1 )-a I+ —,- е >

«0

Учитывая, что скорость откачки Ь * —. (6), то переменная составлякяцая пропорциональна скорости откачки $;

2S еа

КР— =CS, СТ) где С > — —. постоянный коэффициент.

Измерительный прибор S, контролирую- . щий переменную составляющую Ц на выходе логарифмирующего устройства 4, обеспечит непрерывное измерение скорости откачки по линейной шкале.

Формул а изобретения

Измеритель потока разреженного газа по авт. свид. % 453575, о т л и ч а юшийся тем, что, с цепью обеспечения возможности измерения скорости откачки разреженного газа, он снабжен логарв мирую: щим устройством, вход которого подключен к манометрическому преобразователю, а выход через конденсатор — к измерительному прибору, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1

1. Авторское свидетельство М453575, кл. 6 01 F 1/34, 1972.

Составитель О. Полев

Редактор С. Хейфиц Гехред H. Андрейчук Корректор П. Макареви

Заказ, 3144/34 Тираж 872 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4