Измеритель потока разреженного газа

.,кСОю и ад Г!

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ ш1 453575

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 27.10.72 (21) 1841945/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.12.74, Бюллетень № 46

Дата опубликования описания 24.01.75 (51) Ч. Кл. G 01f 1/00

Государственный нсмитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

I (53) УДК 681.121.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

T В, Королева, Н. И. Пенкин, E. А. Пенчко, В. А. Савельев и Г. М. Смирнов (71) Заявитель (54) ИЗМЕРИТЕЛЬ ПОТОКА РАЗРЕ)КЕН НОГО ГАЗА

Изобретение относится к вакуумной технике. Известен измеритель потока разреженного газа, содержащий встраиваемый в линию измеряемого потока корпус с манометрическим преобразователем и модулирующим устройством, выполненным в виде подвижной заслонки с приводом, установленным в корпусе последовательно с преобразователем.

Однако показания такого измерителя зависят от конструкции вакуумной системы.

Для исключения влияния конструкции вакуумной системы па показания измерителя в предлагаемом устройстве корпус выполнен в виде крестообразно сочлененных патрубков, в первом из которых, измерительном, размещен манометрический преобразователь, а во втором, расположенном напротив первого, — привод заслонки перекрывающей попеременно отверстия в линии входа и выхода газа из камеры измерительного патрубка, при этом два других патрубка предназначены для стыковки с линией измеряемого потока.

На фиг. 1 изображен предлагаемый измеритель потока, общий вид: на фпг. 2 — то же, разрез по А — А.

Измеритель потока содержит корпус 1 в виде крестообразно сочлененных патрубков с фланцами 2 на торцах. При помощи двух расположенных друг против друга фланцев 2 измеритель потока встраивается в линию измеряемого потока. На двух других фланцах 2 монтируется манометрический преобразователь 3 и модулирующее устройство 4 с заслонкой 5, которая представляет собой часть по5 верхности цилиндра, качающейся (вращающейся) относительно оси 6. Заслонка 5 закреплена на оси 6, подвешенной на гибких упругих растяжках 7. На оси 6 закреплен магнит 8, находящийся в поле электромагнита 9. Он

10 обеспечивает качание заслонки 5 с частотой питания электромагнита 9 переменным напряжением. При качании заслонка 5 соединяег измерительную камеру 10 с установленным в ней манометрическим преобразователем 3: то

15 с линией источника потока, то с линией откачки.

Устройство работает следующим образом.

Газ движется, например, слева направо. В тот момент, когда заслонка 5 перекрывает от20 верстие справа, газ заполняет измерительную камеру 10 с манометром 3. К моменту полного перекрытия отверстия с правой стороны максимальное давление в измерительной камере 10 достигает значения Р,. Качаясь, заслон25 ка 5 перекрывает отверстие слева и открывает отверстие справа. Газ выходит из измерительной камеры 10.

В момент полного перекрытия заслонкой 5 отверстия слева, минимальное давление в каЗ0 мере равно Р> 3а один цикл качания заслон453575 ки 5 через измеритель потока проходит газ в количестве

V(Pi Р2) где; V — объем измерительной камеры 10.

Величина потока Q равна

Q=APVf, где f — часота качания (скорость вращения) заслонки 5, Прибор позволяет с высокой точностью измерять величину потока Q разреженного газа. Рабочий объем V измерительной камеры 10 и скорость движения заслонки

5 могут быть определены с большой точностью. Показания предлагаемого измерителя не зависят от конструкции вакуумной системы и ее характеристики. Прибор может работать в диапазоне 10 — 10 4 мм рт. ст./сек. Возможно частичное перекрытие заслонкой 5 трубопровода с потоком. В этом случае может быть существенно увеличена газодинамическая проводимость прибора, однако чувствительность измерения потока dP I dg будет меньше.

Предмет изобретения

Измеритель .потока разреженного газа, содержащий встраиваемый в линию измеряемого потока корпус с,размещенными в нем манометрическим преобразователем и заслонкой, и привод, отличающийся тем, что, с це10 лью исключения влияния конструкции вакуумной системы на показания измерителя потока, в нем корпус выполнен в виде крестообразно сочлененных патрубков, в первом из которых, измерительном, размещен маномет15 рический преобразователь, а во втором, расположенном напротив первого, — привод заслонки, перекрывающей попеременно отверстия в линии входа и выхода газа из камеры измерительного патрубка, при этом два дру20 гих патрубка предназначены для стыковки с линией измеряемого потока.