Криогенный сверхвысоковакуумный насос

А 3

ОП-ИС И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

537I93

Союз Советских

Соииалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.08.72 (21) 1823907/06 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.11.76. Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 22.12,76 (51) М. Кл F 04В 37/08

Государственный комитат

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.528.1 (088.8) (72) Автор изобретения

М. П. Ларин (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. М. И. Калинина (54) КРИОГЕННЫЙ СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен криогенный высоковакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем охлаждаемым радиационным экраном и криопанелью, Для охлаждения экрана и криопанели в известном насосе используют различные хладагенты, например жидкий азот и жидкий гелий. Кроме того, для охлаждения криопанели применяют гелиевую холодильную машину, что усложняет эксплуатацию насоса.

Известен и другой криогенный сверхвысоковакуумный насос, содержащий корпус с патрубками для присоединения вспомогательного насоса и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса охлаждаемый радиационный экран и криопанель. Этот насос является наиоолее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату.

Однако и в этом насосе необходимо применение двух хладагентов с различной температурой кипения, один из которых — жидкий гелий является дорогостоящим газом и требует особых условий хранения.

Целью изобретения является повышение экономичности путем охлаждения экрана и криопанели одним хладагентом, например жидким азотом, переохлажденным внутри криопанели вакуумированием его паров.

Указанная цель достигается тем, что радиационный экран выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа, а с торцовых сторон к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью для залива хладагента и вакуумирования его паров.

На чертеже изображен предлагаемый насос, 1р продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с патрубками 2 и 3 для присоединения соответственно вспомогательного насоса и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса 1 охлаждаемый радиационный экран 4 и криопанель 5. Экран

4 выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа, заполненного хладагентом 6.

С торцовых сторон к сосуду подключены па20 трубки 7 и 8, герметично соединенные с криопанелью 5 и магистралью для залива хладагента 6 и вакуумирования его паров.

Насос работает следующим образом.

В полости радиационного экрана 4 и крио25 панели 5 заливается хладагент 6, например жидкий азот. Затем пространство над хладагентом 6 в объеме криопанели 5 вакуумируется и понижается температура хладагента 6.

При понижении температуры на поверхности

30 криопанели 5 начинается процесс криооткачки.

537193

Формула изобретения

Составитель Н. Юшин

Текред М. Семенов

Корректор Т. Гревцова

Редактор Г. Яковлева

Заказ 133/9 Изд. № 1827 Тираж 864 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

ТипогпаФия, пр. Сапунова, 2

Таким образом, описываемый насос позволяет получать сверхвысокий вакуум при использовании для охлаждения экрана и криопанели только одного хладагента, что повышает его экономичность.

Криогенный сверхвысоковакуумный насос, содержащий корпус с патрубками для присоединения вспомогательного насоса, например паромасляного вакуумного насоса, и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса охла>кдаемый радиационный экран и криопанель, отл и ч а ю щи и ся тем, что, с целью повышения экономичности путем охлаждения экрана и криопанели одним хладагентом, на5 пример жидким азотом, пер еохлажденным внутри криопанели вакуумированием его паров, экран выполнен в .виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа, а с торцовых сторон

10 к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью для залива хладагента и вакуумирования его паров.