Способ откачки газов

00 5!5883

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических республик.-т с (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.11.73 (21) 1970609/24-6 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30,05.76. Бюллетень ¹ 20

Государственнык комитет

Совета Министров СССР

IIo делам изооретений и открытий (53) УДК 621.528.1 (088.8) Дата опубликования описания 25.06.76 (72) Автор изобретения

М, П. Ларин (71) Заявитель

Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина (54) СПОСОБ ОТКАЧКИ ГАЗОВ

2 впс понижения давления над его поверхностью и затвердевает. Затем твердый хладагент охлаждают жидким гелием и используют в качестве сорбента.

Формула изобретен и я

Способ откачки газов из реципиента путем создания форвакуума и последующей крцосорбции на слое твердого хладагента, отл ич а ю шийся тем, что, с целью получения безмасляного сверхвысокого вакуухта, форвакуум создают, откачивая газ через массу жидкого хладагента, например азота, затвердевающего в результате переохлаждения при понижении давления пад его поверхностью, а криосорбцпю ведут при охлаждении твердого хладагента жидким гелием.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения вакуума криогенными средствами.

Известен способ откачки газов из реципиента путем создания форвакуума и после- 5 дующей криосорбции на слое твердого газа.

При этом форвакуум создается механическими насосами, и возможно загрязнение рециIIEIcEIT3 парами рабочей жидкости насосов.

Цель изобретения — создание способа от- 10 качки газов, гарантирующего безмаслянность, откачки.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу первоначальная откачка реципиента от атмосферного давления производится через 15 массу хладагента, например жидкого азота, который при этом переохлаждается вследст(51) М. Кл.в F 04 В 37/08