Криогенный сверхвысоковакуумный насос

111 5l5884

ОП ИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Йо1оз Советских

Годиалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.04.74 (21) 2019987 24-6 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Оп :бликовано 30.05.76. Бюллетень М 20 (51) М. Кл.2 F 04В 37/08

Государственный комитет

Совета Министров CCCP по делам иаобретений и открытий (53) УДК 621.528.1 (088.8) Дата опубликования описания 30.07.76 (72) Автор изобретения

М. П. Ларин (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. М. И. Калинина (54) КРИОГЕННЫй СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к сверхвысоковакуумной технике, физике низких температур и криогенной технике.

Известны криогенные сверхвысоковакуумные насосы, содержащие камеру с криоконденсациоиными и криосорбционными поверхностями.

Предлагаемый насос отличается от известных тем, что в нем камера разделена кольцевой перегородкой на две полости, образующие с днищем по всему периметру зазор, перекрываемый в рабочем режиме жидким, затем затвердевшим криогенным веществом, и одна из полостей сообщена с реципиентом, а другая— с системой предварительной откачки. К днищу камеры по обе стороны перегородки присоединены концентрически расположенные перфорированные кольца.

Такое выполнение насоса позволяет получить в реципиенте безмасляный вакуум выше

10 "тор.

На чертеже схематически изображен предлагаемый насос.

Насос содержит корпус 1 с установленным сосудом 2 с жидким гелием, образованным внутренним 3 и наружным 4 днищями, бокоDoH стенкой 5, нижней 6 и верхней 7 крышками и наружной боковой стенкой 8, при этом к нижней крышке 6 сосуда 2 припаяна жалюзийная сборка 9 и перегородка-обечайка 10, образующая с днищем 3 кольцевой зазор 11, а к верхнему днищу 3 приварены перфорированные концентрические медные кольца-обе5 чайки 12. Обечайка 10 делит объем. сообщающийся с реципиентом, на внутреннюю полость

13 и внешнюю полость 14, которая сообщается с трубками 15 и 16 для заливки криогенной жидкости и откачки ее паров. Вокруг сосуда

10 2 с зазором 17 установлен повторяющий конфигурац1по сосуда 2 сосуд 18, к наружному днищу 19 которого приварена корзина 20 с сорбентом, поддерживающим вакуум в пространстве между сосудами и в охранной по15 лости 21.

Сосуд 18 снабжен патрубками 22 и 23 для подвода криогенной жидкости и откачки ее паров, На нижней крышке 24 сосуда 18 установ2р лена оптически плотная сборка 25, через которую проходит откачиваемый газ из реципиента, стыкующегося с фланцем насоса 26 фланцем 27.

Насос раоотает следующим образом.

После разгерметизации насоса через трубi<% 15 B 110.10 TI 13 и 14 зализавTc i криогеllная жидкость, заполняющая промежутки между перфорированными обечайками 12. За