Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники

 

(it) 535630

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.07.74 (21) 2048512/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.11.76. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 23.05.77 (51) М. Кл Н 01L 21f68

Гасударственный кенитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.382(088,8) по делан изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. А. Белов, В. Г. Махаев и В. А. Назаров (71) Заявитель (54) КОМПЛЕКТ ДЛЯ ХРАНЕНИЯ И ТРАНСПОРТИРОВКИ

ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Изобретение относится к области полупроводникового производства и, в частности, предназначено для хранения и транспортировки плоских изделий микроэлектроники, например интегральных схем в спутниках.

Известны различные конструкции коробчатой тары (1) . Они представляют собой тару в виде коробок разнообразной конфигурации: с телескопической крышкой, с крышкой на шарнире, пеналы и т. д. В данные коробки могут вставляться различные прокладки в виде решеток, В собранном виде коробка с решеткой образует закрытые ячейки для изделий. При этом возможно выполнение коробчатой тары в виде четырехгранных ячеек с возможностью перегибов в стыках граней (11).

Одним из главных недостатков такой конструкции является невозможность автоматической групповой ориентированной загрузки и выгрузки изделий в технологические кассеты-пеналы. Это обстоятельство резко снижает эффективность использования данной тары в полупроводниковом производстве.

Целью изобретения — обеспечение групповой ориентированной загрузки и выгрузки изделий. Поставленная цель достигается тем, что торцы ячеек тары выполнены открытыми и снабжены стержневыми упорами, при этом комплект снабжен насадкой, содержащей выступы по числу ячеек, выполненные в соответствии с формой изделия.

На фиг. 1 показан предложенный комплект для хранения и транспортировки интегральных схем в спутниках, общий вид; на фиг. 2 а, б — тара в сложенном виде. Комплект включает в себя коробчатую тару 1, состоящую из четырехгранных гнезд-ячеек 2, открытых с торцевых сторон. Длина гнезда-ячейки кратна

1р длине типового пенала-магазина для спутников с интегральными схемами. На фиг. 1 показано размещение спутников 3 в гнездеячейке 2. На верхних гранях гнездячеек выполнены пазы 4 и нанесены риски 5

15 на расстоянии одна от другой, равном десяти спутникам.

Поскольку длина гнезд-ячеек выбирается кратной длине типового пенала-магазина, а количество спутников в пенале является изве2р стной постоянной величиной, то подсчет спутников в полностью заполненной таре легко осуществляется путем умножения количества спутников в ячейке на число ячеек в таре.

Случаи неполного заполнения ячеек легко

25 контролируются визуально через пазы 4 на верхних гранях. При этом количество спутников определяется по рискам 5. В обоих концах боковых граней гнезд-ячеек 2 выполнены отверстия 6, куда вставляются стержневые упоЗр ры 7, предотвращающие выпадение спутников

535630 из ячеек при транспортировке. При загрузке тара насаживается на специальное приспособление-насадку 8, содержащую выступы 9, выполненные по форме ячеек. Количество выступов равно числу ячеек. Назначение насадки 8 — придать ячейкам форму спутников в момент загрузки.

При перегрузке спутников из ячейки в пенал-магазин в паз вводят специальный захват-выталкиватель 10, который обеспечивает выгрузку всего пакета спутников. В процессе использования комплекта достаточно иметь лишь по одному экземпляру насадки и выталкивателя на всю партию комплектов.

Конструкция тары позволяет складывать ее в полосу или в плоскость. На фиг. 2 а, б стрелкой указано направление складывания тары. Складывание тары в плоскость обеспечивается взаимным смещением верхних и нижних граней, при этом все грани ячеек располагаются горизонтально. При складывании тары в полосу имеет место вертикальное расположение всех граней. В том или другом случае складывание возможно за счет поворота (перегиба) граней в местах их стыка.

Материалом для изготовления тары может служить бумага, пластмасса и другие материалы, допускающие многократную деформацию (или шарнирный поворот) граней при складывании тары и восстановлении ее формы.

Предложенный комплект используется на технологических операциях при массовом производстве интегральных схем. Особенно эффективно его применение при магазинном питании оборудования, в чем заключается его основное преимущество перед известными в настоящее время средствами хранения и транспортировки, используемыми в полупроводниковом производстве.

10 Формула изобретения

Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники, например интегральных схем, в технологических спутниках, 15 содержащий коробчатую тару в виде четырехгранных ячеек с возможностью перегибов в стыках граней, отличающийся тем, что, с целью обеспечения групповой ориентированной загрузки и выгрузки изделий, торцы ячеек тары выполнены открытыми и снабжены стержневыми упорами, при этом комплект снабжен насадкой, содержащей выступы по числу ячеек, выполненные в соответствии с формой изделия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Упаковка для экспертных грузов, Единое техническое руководство, Калуга, 1974, с. 13—

14.

2. Упаковка для экспортных грузов, Единое техническое руководство, Калуга, 1974, с. 82 — 83, 535630

ИаяраВлеиие снлабыданир

Фиа Р

Составитель Ю. Цветков

Редактор И. Шубина Техред Л. Котова Корректоры: Л. Орлова и 3. Тарасова

Заказ 996/3 Изд. № 389 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

l!3035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2! ! 1 ! 1 т

1

T

I

1

Г/

Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме
Наверх