Способ изготовления стальных кассет

Авторы патента:

H01L21/68 - аппаратура для крепления или установки компонентов во время изготовления, например зажимные приспособления, шаблоны, калибры

2474I3

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИСЕСЯ1)ЯЦ

ПА с. „ ТН0

Т . НИЧ1"-. АЯ

<ИБ.М ОТЕКА

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 27.Х.1967 (№ 1193581/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04.V11.1969. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 28.XI,1969

Кл. 21g, 11/02

МПК Н 011

УД К 621.382.002 (088.8) Комитет IlO делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Н. М. Василенко и В. К. Завгородний

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТАЛЬНЫХ КАССЕТ

Йастоящее изобретение относится к технике полупроводникового производства, в частности к обработке технологических кассет для придания их поверхности несмачиваемости расплавами AI, AI вЂ” Si, Au вЂ” Sb вЂ” Si.

Известен способ изготовления стальных кассет, предназначенных .для работы в вакууме, заключающийся в том, что кассету обезжиривают, хромируют и получают окисную пленку в протоке влажного водорода. Этот способ сложен, длителен, неэкономичен, связан с большим расходом водорода и необходимостью хромирования поверхности.

Цель настоящего изобретения вЂ” упрощение и ускорение процесса. Достигается она тем, что в качестве материала для изготовления кассет используют хромистые стали, например

Х12 (ГОСТ 5950 вЂ” б3), что позволяет исключить операцию хромирования. Обработку ведут в протоке паров воды при 830+ 10 С в течение

30 мин с последующим охлаждением в течение 30 мин.

Технологический процесс изготовления кассет включает трехкратное обезжиривание в кипящем трихлорэтилене в течение 3 вЂ” 5 мин, сушку при 90 вЂ” 100 С, получение окисной пленки в протоке водяного пара с загрузкой и выдержкой в печи при 830+.10 С в протоке водяного пара в течение 30 мин и охлаждение при комнатной температуре в течение 30 мин.

Предмет изобретения

Способ изготовления стальных кассет, нагример, предназначенных для работы в вакуу15 ме, включающий в себя операции обезжиривания поверхности и получения на ней окисной пленки, отличаюш,ийся тем, что, с целью упрощения и ускорения процесса, кассеты изготавливают из хромистых сталей, а термо20 сбраоотку проводят непосредственно после обезжиривания в протоке паров воды при

830 +- 10 С.

Кассета для загрузки электродных сплавов // 203076

Устройство для первичной упаковки радиодеталей с осевыми выводами // 165248

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Устройство для ориентации пластин // 2131155

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов // 2280916

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки, способ обработки подложки и расширительный узел электростатического держателя // 2295799

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Приспособление для закрепления пластины // 2380786

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Способ формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, и система манипулирования для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин // 2411608

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере // 2435873

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Способ съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя и устройство для съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя // 2071144

Изобретение относится к микроэлектронике

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме