Источник ионов

еи- и„хивн

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Д )1 Q !p f$ ..„

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 24.12.74 (21) 2087277/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (5! ) М. Кл.-

Н 05 Н 1)00

Государственный комитет ссса

Опубликовано 30.03.81. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 31.03.81 (53) УДК 539.9 (088.8) ао делам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения

В. С. Панасюк, С. Г. Панкратов, А. М. Овчаров и Ю. К. Самошенков (7! ) Заявитель (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ

Изобретение относится к газоразрядным приборам, в частности к плазменным источникам ионов.

Известны плазменные источники ионов, содержащие разрядную камеру, образованную анодом и катодом и помещенную в магнитное поле. Получение ионных пучков производится путем подачи ускоряющего напряжения на вытягивающий электрод.

Известен также плазменный источник ионов, содержащий анод, катод и извлекающий электрод, разделенные изолятором и помещенные между полюсами магнита, причем катод и анод выполнены в виде коаксиального диода. Магнит создает магнитное поле, перпендикулярное электрическому, что способствует увеличению траектории электронов и, следовательно, приводит к дополнительной ионизации рабочего газа.

Однако известный источник не позволяет вытягивать значительные ионные токи из-за малого отношения площади сечения выходного отверстия к поверхности плазмы, что заставляет разряд обеспечивать значительной энергией.

Целью изобретения является снижение затрат энергии на образование ионов.

Для этого катод выполнен B виде сетки и расположен между анодом H извлскаюпiи:"I электродом, а размеры полюсов магии);. больше или равны расстоянию между ка:..;— дом и анодом.

На фиг. 1 дана схема конструкции ис ),ника; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. !.

Источник ионов содержит катод 1, выполненный в виде плоской сетки, удерживаемой катодными держателями 2 и расположенной между анодом 3, изоляторами 4, в 5 и извлекающим электродом 6. Систем;: электродов помещена между пол юсным; наконечниками 7 магнита.

Источник работает следующим образ::.;.

По катоду 1 через катодные держатели 2 пропускается электрический ток. которы.. разогревает катод до рабочей температуры.

В зазоре между полюсными наконсчникали 7 создается магнитное поле. На анод 3 подается положительный потенциал относительно катода 1 и катодных держателей 2.

Электроны, эмиттируемые катодом, ускоряются полем анода. В продольном электрическом и поперечном магнитных полях траектории электронов значительно удлиняются, что гриводит к эффективной ионизаци)н ра519066

Формула изобретения фиг 2

Составитель В. Рыжков

Редактор Н. Llàëèíèíà . Техред А. Бойкас Корректор С. 1цомак

Заказ 1395/46 Тираж 889 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и о1крытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 бочего газа и образованию плазмы. На извлекающий электрод 6 подается отрицательный потенциал относительно катода 1 и катодных держателей 2 и пучок ионов извлекается из плазмы через катод в осевом направлении.

Поскольку граница плазмы находится в непосредственной близости от катода, через сетку которого производится отбор ионов, то это приводит к увеличению выходного ионного тока при незначительных затратах энергии на образование ионов.

Источник ионов, содержащий анод, катод и извлекающий электрод, разделенные изолятором и помещенные между полюсами магнита, отличаощийся тем, что, с целью снижения затрат энергии на образование ионов, катод выполнен в виде сетки и расположен между анодом и извлекающим электродом, а размеры полюсов магнита больше или равны расстоянию между катодом и анодом.