Способ тренировки тонкопленочных конденсаторов
502402
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Саю Советских
Социалистических
Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3 а явлено 12.04.74 (21) 2015297/26-21 с присоединением заявки № (51) М. Кл. - Н 01С 13/00
Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.396.6.181. ,48 (088.8 ) Опубликовано 05.02.76. Бюллетень № 5
Дата опубликования описания 12.04.7б (72) Авторы изобретения
И. И. Вайсберг и И. П Михайловский (71) Заявитель (54) СПОСОБ ТРЕНИРОВКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ
КОНДЕНСАТОРОВ
ГосУдаРственный комитет (23) Приоритет
Изобретение относится к технологии производства микросхем.
Известен способ тренировки тонкопленочных конденсаторов, включающий подачу напряжения на обкладки конденсатора и выжигание дефектных мест в диэлектрике.
Цель изобретения — повышение пробивного .напряжения.
Предлагаемый способ отличается тем, что на время подачи напряжения на обкладки конденсатора и выжигания дефектных мест в диэлектрике конденсатор помещают в магнитное поле, вектор напряженности которого перпендикулярен поверхности диэлектрика.
Способ позволяет ускорить тренировку примерно вдвое, а также повысить напряжение пробоя тонкопленочных конденсаторов на 20% .
Сущность изобретения поясняется примером.
На обкладки тонкопленочных конденсаторов подают плавно воз растающее от нуля напряжение и помещают их в магнитное поле
 — 380 гс, вектор напряженности которого перпендикулярен поверхности диэлектрика, и выжигают дефектные места в диэлектрике.
5 Время выхода на участок с постоянным напряжением пробоя, т. е. время тренировки, сокращается на 50%, а амплитуда напряжения пробоя возрастает на 20%.
Предмет изобретения
Способ тренировки тонкопленочных конденсаторов, включающий подачу напряжения на обкладки конденсатора и выжигание дефект15 ных мест в диэлектрике, отл и ч а ю щи и ся тем, что, с целью повышения пробивного напряжения, на время указанных операций конденсатор помещают в магнитное поле, вектор напряженности которого перпендикулярен по20 верхности диэлектрика.
