Рентгеновский способ измерения толщины покрытия
Oll ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскин
Социалистических
Республик (Ц) 468084 (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 12. 04.71 (21) 1645960/25-28 (51) М. Кл.
Q01. Ь 15/02 с присоединением заявки №
Государственный комитет
Совета й1нннстроа СССР ао делам изобретений и открытий (32) ПриоритетОпубликовано 25.04.75. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 13 05.75 (53) УДК 6 21.386. 12;
:531.717. 1(088.8) (72) Авторы изобретения
Ю. Д. Клебанов и В. H. Сумароков (71) Заявитель (S4) РЕНТГЕНОВСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ
Изобретение относится к контрольно-из- мерительной технике и может быть использовано при измерении толщины покрытий.
Известны способы измерения толщины покрытий за счет регистрации ослабления одной спектральной линии характеристичес кого рентгеновского излучения.
Однако известные способы требуют высокой стабилизации ускоряющего электроны напряжения, необходимости проведения не- 10 скольких измерений при определении толщины покрытия в одной точке.
lien изобретения — повысить точность измерения.
Это достигается тем, что дополнительно 35 измеряют величину интенсивности другой спектральной линии характеристического излучения элемента и по отношению измеренных величин судят о толщине покрытия.
Этот способ позволяет получить большую 20 точность определения толщины тонких пок рытий, пригоден для любых сочетаний материалов покрытия и подложки, дает возможность производить непрерывное измерение толщины покрытий. 2б
На чертеже изображена схема устройства, осуществляющего предлагаемый способ.
Устройство содержит источник 1 электронов, возбуждающих характеристическое излучение подложки, покрыеие 2, подложку . 3 детектор 4 рентгеновского излучения.
Способ осуществляется следующим образом.
Возбуждение характеристического излучения подложки осуществляется рентгеновским излучением или пучком электронов.
Вторичное излучение, прошедшее покрытие, попадает на детектор рентгеновского излу-, чения, который регистрирует отношение интенсивностей двух спектральных линий характеристического излучения подложки, возбуждаемых одновременно и в одном и том же месте подложки.
Отношение интенсивностей двух спекчрал . ных линий характеристического излучения подложки пропорционально толщине покрытия, Выбранные спектральные линии могут принадлежать одному или различным элементам, входящим в состав подложки.
468084
Составитеав ! е" "д H.Êàðàíäàøîâà Kîðð««ð Н.учакина
Изд, № &Ф7
:-1 " Q gf Тираж 782, Подписное
:-заказ
Ц! ПНГПП Государственного комитег» Совета Министров СССР ио дедам изобретений и открытий
Москва, 1!3035, Раушская наб., 4
Г1реднриятие «1!атентз, Москва, Г.59, Бережковская наб., 24
Предмет изобретения
Рентгеновский способ измерения толшины покрытий на подложке путем измерения веу!ичины интенсивности одной спектральной линии характеристического излучения элемента, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения точности измерения, дополнительно измеряют величину интенсивности другой спектральной линии характери5 стического излучения элемента и по отношению измеренных величин судят о толшине покрытия.
