Способ измерения толщины слоя полупрозрачного материала

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 453564

Сонтз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 05.10.70 (21) 1476529,"25-28 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.12.74. Бюллетень ¹ 46

Дата опубликования описания 18.03.75 (51) М. Кл. G 01Ь 12j03

G 01b 15/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.717.1:531. .715.2 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. П. Кононко, А. А. Кривоконь и Л. М. Иванова

Институт газа АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЯ

ПОЛУПРОЗРАЧНОГО МАТЕРИАЛА 1

Изобретение относится к области линейных измерений, которая использует тепловое (инфракрасное излучение) контролируемого материала.

Известный способ измерения толщины слоя полупрозрачного материала, например стеклянной ленты в процессе ее изготовления, заключается в том, что о толщине материала судят по результату анализа потока, инфракрасного излучения, идущего от него.

Недостатком известных способов является их невысокая точность, определяемая нестабильностями нагрева и конечной величиной коэффициента температуропроводимости.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что, с целью повышения точности, измеряют поток излучения от участка контролируемого материала на фоне квази абсолютно черного тела и поток излучения от участка контролируемого материала на фоне отражающей поверхности с известным коэффициентом отражения и о толщине контролируемого материала судят по величине отношения этих потоков.

Предлагаемый способ иллюстрируется чертежом, где 1 — контролируемый материал, 2 — корпус, 3 — приемник инфракрасного (ИК) излучения, 4 — приемник ИК,излучений, 5 — квази абсолютно черное тело, 6— отражающая поверхность

Предлагаемый способ осуществляют в следующей последовательности.

Контролируемый материал 1 движется между корпусом 2, в котором скопированы прием5 ники 3, 4 инфракрасного излучения, квази абсолютно черным телом 5 .и отражающей поверхностью 6.

Приемник 3 регистрирует не только прямое излучение материала, но и излучение контро10 лируемого,материала 1, отраженное от отражающей поверхности 6 и прошедшее через контролируемый материал 1. Приемник 4 регистрирует только прямое излучение контролируемого материала. Измеряют величину от15 ножвния этих потоков, по:которой и судят о толщине контролируемого материала 1.

Формула, связывающая толщину контролируемого материала 1 и величины, характерп20 зующие оптические свойства контролируемого материала 1, имеет вид: где х — толщина контролируемого материала 1

r — коэффициент отражения ИК пзлуче30 ния от отражающей поверхности 6

453564

Предмет изобретения

Составитель А. Кузнецов

Текред Е, Борисова

Корректор А. Дзесова

Редактор Л. Василькова

Заказ 898!3 Изд. ¹ 1082 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

r — коэффициент отражения ИК излучения от поверхности контролируемого материала 1, К вЂ” коэффициент поглощения ИК излучения в контролируемом материале 1.

Способ измерения толщины слоя полупрозрачного материала, например стеклянной ленты в процессе ее изготовления, заключающийся в том, что анализируют поток инфракрасного излучения, идущего от материала, о т л и ч а к> шийся тем, что, с целью повышения точности, измеряют поток излучения от

5 участка контролируемого материала на фоне квази абсолютно черного тела и поток излучения от участка контролируемого материала на фоне отражающей поверхности с известным коэффициентом отражения и о толщине

10 контролируемого материала судят по величине отношения этих потоков.

Способ измерения толщины слоя полупрозрачного материала Способ измерения толщины слоя полупрозрачного материала 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытий на подложках (в том числе и многослойных)
Наверх