Способ обработки материалов

<п1 463172

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республнк (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 08.07,71 (21) 1684653/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.03.75. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 28.05,75 (51) М. Кл. Н 011 7/34

Государственный комитет

Совета Мнннстров СССР (53) УДК 621.382(088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

А, И. Крючков и О. Л. Вестфаль (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ

Известен способ газотермического травления, заключающийся в окислении поверхности обрабатываемого материала и испарении летучего окисла и реализуемый на обычных вакуумных напылительных установках.

Недостатками этого способа являются невысокая производительность и узкая номенклатура обрабатываемых материалов.

Предложенный способ позволяет устранить указанные недостатки путем нагрева обрабатываемого материала в активирующей защитной среде, например в атомарно и/или частично ионизированном водороде при давлении

1 †— 10 мм рт. ст. Обработку проводят при периодически прерываемой подаче газаокислителя и кратковременной подаче, например, в течение 10 — 20 сек активирующей защитной среды. При этом давление газаокислителя над поверхностью обрабатываемого материала поддерживают в пределах от

10 — до нескольких миллиметров ртутного столба, а рабочее давление под вакуумным колпаком 5 10 — 4 — 5 10 — 5 мм рт. ст.

Обработка материалов проводится на вакуумной установке.

Сначала материал загружают в реактор, затем откачивают вакуумную камеру (колпак) форвакуумным насосом до давления 5 10 — з мм. рт. ст. После этого включают высоковакуумную систему откачки и одновременно систему подачи на обрабатываемую поверхность материала активирующей защитной среды.

Вакуумную камеру откачивают до давле5 ния 5.10 — 4 — 5.10 — мм рт. ст. и включают нагрев обрабатываемого материала. После нагрева материала до нужной температуры отключают подачу активирующей защитной среды и одновременно включают подачу на об10 рабатываемую поверхность газа-окислителя.

В процессе обработки периодически через

1 — 2 мин вместо газа-окислителя подают активирующую защитную среду в течение

15 10 — 20 сек.

После окончания обработки прекращают подачу газа-окислителя, отключают нагрев, охлаждают материал, развакуумируют рабочую камеру (колпак) и выгружают готовые

20 детали.

Предложенным способом можно обрабатывать материалы, которые при определенных температурах нагрева и давлении газа-окислителя дают летучие соединения. Способ

25 пригоден для обработки плоских поверхностей, фрезеровки пазов и углублений сложных конфигураций, сверления и разделки отверстий как круглой, так и другой формы.

Наиболее целесообразно использование

30 предложенного способа при обработке твер463172

Способ обработки материалов путем окисления при пониженном давлении с последующим удалением продукта окисления за счет его испарения, отл и ч а ю щийся тем, что, с целью повышения производительности и расширения номенклатуры обрабатываемых материалов, нагрев материала производят в защитной активирующей среде, например, в атомарном и/или частично ионизированном водороде при давлении 10 ††: 10 †мм рт. ст., подачу газа †окислите проводят периодически, а на время перерывов подают защитную активирующую среду, причем давление газа— окислителя поддерживают над обрабатываемой поверхностью от 10 — мм рт. ст. до нескольких миллиметров ртутного столба.

15

Состав и гел ь А. Мазур

Тсхред А. Камышникова

Корректоры; В. Дод и А. Николаева

Редактор T. Орловская

Заказ !070, 17 Изд. М 499

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и,"1осква, )К-35, 1 ;:у :ская

Тн ографня. ир. C,û óíîâà, 2

- 3 дых и хрупких материа",îâ. В частности, обработку карбида кремния производят при температуре 1300 †14 С и подаче кислорода 10гв — 10" атомов (или молекул) в сек на

1 см обрабатываемой поверхности. В качестве защитной активирующей среды используют водород. Толщина снимаемого слоя при этом (скорость травления) составляет 1 — 2 мкм.

При обработке марганца нагрев производят до 900 †10 С, в качестве газа — окислителя применяют атомарный азот, а в качестве защитной активирующей среды — водород.

Обработку вольфрама производят при температуре 1300 †14 С и подаче кислорода

10гв — 10 9 молекул в сек на 1 см обрабатываемой поверхности. В качестве защитной активирующей среды используют водород.

Предмет изобретения

Тираж 833 Г!одписное

Совета Министров СССР открытий иаб., д. 4/5